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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利磁控溅射设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117107201B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310980213.4，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权磁控溅射设备是由黎佐兴;杨洪生;张晓军;夏慧设计研发完成，并于2023-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种磁控溅射设备、双轴驱动装置以及真空设备。磁控溅射设备包括：镀膜腔，镀膜腔的内部的上方具有靶材；双轴驱动装置，与镀膜腔隔开并设置在镀膜腔的上方，双轴驱动装置具有：第一驱动部，沿第一方向驱动，第二驱动部，沿与第一方向正交的第二方向驱动，联接部，分别与第一驱动部以及第二驱动部连接，联接部具有第一调节单元以及第二调节单元，第一调节单元与第一驱动部连接并沿第二方向可自由调节，第二调节单元与第二驱动部连接并沿第一方向可自由调节；磁控元件，与镀膜腔隔开并位于靶材的上方，磁控元件安装到第一调节单元或者第二调节单元。本发明的磁控溅射设备能够实现使磁控元件在真空腔内沿平面方向被驱动。

本发明授权磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.磁控溅射设备，其特征在于，包括： 镀膜腔，所述镀膜腔的内部的上方具有呈板状的靶材； 双轴驱动装置，与所述镀膜腔隔开并设置在所述镀膜腔的上方，所述双轴驱动装置具有： 第一驱动部，沿第一方向进行驱动，其中，所述第一方向与所述靶材平行， 第二驱动部，沿第二方向进行驱动，其中，所述第二方向与所述靶材平行且与所述第一方向正交， 联接部，分别与所述第一驱动部以及所述第二驱动部连接，所述联接部具有第一调节单元以及第二调节单元，所述第一调节单元与所述第一驱动部连接并沿所述第二方向可自由调节，所述第二调节单元与所述第二驱动部连接并沿所述第一方向可自由调节； 磁控元件，与所述镀膜腔隔开并位于所述靶材的上方，所述磁控元件安装到所述第一调节单元或者所述第二调节单元； 所述镀膜腔的上方具有可处于真空状态的控制腔，所述控制腔与所述镀膜腔隔开，所述磁控元件被设置在所述控制腔内； 所述第一驱动部包括第一电机以及第一丝杆组件，所述第一电机设置在所述控制腔的外部，所述第一丝杆组件设置在所述控制腔的内部，所述第一电机和所述第一丝杆组件经由第一真空用联接器联接； 所述第二驱动部包括第二电机以及第二丝杆组件，所述第二电机设置在所述控制腔的外部，所述第二丝杆组件设置在所述控制腔的内部，所述第二电机和所述第二丝杆组件经由第二真空用联接器联接； 所述第一驱动部还包括：第一引导单元以及第一安装单元，所述第一引导单元以及所述第一安装单元分别被设置在所述控制腔内，所述第一引导单元沿所述第一方向进行引导，所述第一引导单元包括线性滑轨或者线性导向轴，所述第一安装单元搭载在所述第一引导单元并与所述第一丝杆组件连接； 所述第二驱动部还包括：第二引导单元以及第二安装单元，所述第二引导单元以及所述第二安装单元分别被设置在所述控制腔内，所述第二引导单元沿所述第二方向进行引导，所述第二引导单元包括线性滑轨或者线性导向轴，所述第二安装单元搭载在所述第二引导单元并与所述第二丝杆组件连接； 所述第一调节单元安装到所述第一安装单元； 所述第二调节单元安装到所述第二安装单元； 所述磁控元件安装到所述第一调节单元，并沿所述第二方向延伸。

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