印能科技股份有限公司洪誌宏获国家专利权
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龙图腾网获悉印能科技股份有限公司申请的专利机动式天车自动化搬运轨道获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117088052B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310249424.0,技术领域涉及:B65G35/00;该发明授权机动式天车自动化搬运轨道是由洪誌宏设计研发完成,并于2023-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本机动式天车自动化搬运轨道在说明书摘要公布了:本发明公开了一种机动式天车自动化搬运轨道,包括小批量烘烤的复数台小烤箱,小烤箱接续设置于一半导体制程设备的旁侧,每一半导体制程设备进行一项芯片的制程,而制程结束后,小批量的芯片即可送进小烤箱进行烘烤;小烤箱的一侧以复数快拆结构固定一龙门框架,复数龙门框架间以复数快拆结构组设于一天车轨道,天车轨道上设有复数天车载送芯片至各制程,而一系列流程与复数个另一系列流程间均可借由换轨装置进行连接转换,据此龙门框架与小烤箱可机动的依需求随时改变位置,并可配合快拆结构迅速拆装天车轨道,能够快速完成全新系列流程。
本发明授权机动式天车自动化搬运轨道在权利要求书中公布了:1.一种机动式天车自动化搬运轨道,其特征在于,包括: 小批量烘烤的复数台小烤箱,当小批量的芯片加工完成后,即送进所述小烤箱进行烘烤;其特征在于: 所述小烤箱的一侧固定一龙门框架,所有所述龙门框架间以复数快拆结构组设有一天车轨道,所述天车轨道上移动设置复数天车,借由所述天车载送所述芯片至各制程;所述天车轨道连接成一个或多个芯片制程循环,所述芯片制程循环间借由一个以上的换轨装置转换所述天车的动作路径,使得所述天车移到所述天车轨道或一制程间连接轨道上。
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