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龙图腾网获悉上海哥瑞利软件股份有限公司申请的专利基于半导体MES系统管理内联光刻机全自动左进右出投料生产的系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116835326B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310556013.6，技术领域涉及：B65G49/07；该发明授权基于半导体MES系统管理内联光刻机全自动左进右出投料生产的系统是由黄国明;孙玉亮;姜罡;叶宇晖;王文瑞;姜志设计研发完成，并于2023-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于半导体MES系统管理内联光刻机全自动左进右出投料生产的系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于半导体MES系统管理内联光刻机全自动左进右出投料生产的系统，其特征在于：包括自动化接口模块、物料管理模块、搬运模块、设备管理模块和实时派工模块；基于该系统能够无缝为下一个工艺制程作好准备，提升工艺流转速度从而提高生产效率。

本发明授权基于半导体MES系统管理内联光刻机全自动左进右出投料生产的系统在权利要求书中公布了：1.基于半导体MES系统管理内联光刻机全自动左进右出投料生产的系统，其特征在于：包括自动化接口模块、物料管理模块、搬运模块、设备管理模块和实时派工模块； 其中，所述自动化接口模块，对接内联光刻机和半导体MES系统，交互内联光刻机和半导体MES系统之间的信息； 各模块之间，具有信息交互通讯的功能； 所述物料管理模块，记录待处理物料的数量和项目需求，统计物料在内联光刻机的进料和出料数量，跟踪物料的流转处理进程； 所述搬运模块，包含搬运物料用途的FOUP，并根据指令使FOUP进行进料或出料的操作； 所述设备管理模块，统计内联光刻机的占用情况和对物料的处理进展； 所述实时派工模块，包含任务模型构建子模块和派工子模块； 所述任务模型构建子模块，基于物料管理模块、搬运模块、设备管理模块的信息，创建实时派工任务； 所述实时派工任务，包含指令指定的FOUP在指定的时间到达指定的内联光刻机的装载卸载口进行指定数量的物料的出料或进料操作，以及指令内联光刻机进行指定项目的操作准备； 所述派工子模块，根据实时派工任务，向对应的设备发布操作指令； 还包括绑定和解绑定模块； 当FOUP内装载有物料或者FOUP装载物料时，所述绑定和解绑定模块，将物料逐一与当前FOUP进行绑定； 当FOUP卸载物料时，所述绑定和解绑定模块，将物料逐一与当前FOUP进行解绑定。

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