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中国科学院微电子研究所刘立拓获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种动态过焦扫描成像的方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116794034B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310759975.1,技术领域涉及:G01N21/84;该发明授权一种动态过焦扫描成像的方法及系统是由刘立拓;宋晓娇;王娜;王盛阳;王驾驭;周维虎设计研发完成,并于2023-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种动态过焦扫描成像的方法及系统在说明书摘要公布了:本发明涉及一种动态过焦扫描成像的方法,属于光学显微成像技术领域,解决了现有过焦扫描成像方法当沿Z轴进行扫描时,X轴Y轴是静止的,检测效率低的问题。该方法包括:设置扫描成像的离焦范围;使样品沿Z轴在离焦范围内连续周期性移动的同时使样品相对于面阵相机沿X轴Y轴连续移动;Z轴、X轴Y轴的移动速度大小满足当Z轴移动距离SZZ时X轴Y轴恰好移动一个像素,每当Z轴移动距离SZZ时面阵相机拍照记录该位置的物面信息;直至扫描完样品的X轴Y轴,完成一次扫描;使样品沿Y轴X轴移动到下一相机视场范围,并沿X轴Y轴继续进行扫描,直至扫描完整个样品;对获取的扫描成像数据进行处理,获得每一个X轴Y轴位置处沿Z轴的最终扫描成像数据。

本发明授权一种动态过焦扫描成像的方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种动态过焦扫描成像的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤: 根据样品的大小和测量精度设置扫描成像的离焦范围; 使样品沿Z轴在离焦范围内连续周期性移动的同时使样品相对于面阵相机沿X轴或Y轴连续移动,包括:在一次扫描中,样品沿Z轴循环往复运动,同时样品相对于面阵相机沿X轴或Y轴连续移动; 所述样品沿Z轴循环往复运动包括:样品沿Z轴从上至下运动或从下至上运动,使得面阵相机从样品离焦范围的顶部扫描至底部或从底部扫描至顶部为半个周期,在一个周期内面阵相机拍摄2N-1次;样品连续地移动一个周期为一次循环往复运动; Z轴、X轴或Y轴的移动速度大小满足当Z轴移动距离时X轴或Y轴恰好移动一个像素,每当Z轴移动距离时面阵相机拍照记录当前位置的物面信息;直至扫描完样品的X轴或Y轴,完成一次扫描; 使样品沿Y轴或X轴移动到下一相机视场范围,并沿X轴或Y轴继续进行扫描,直至扫描完整个样品; 对获取的扫描成像数据进行处理,获得每一个X轴或Y轴位置处沿Z轴的最终扫描成像数据,包括:以各X轴或Y轴位置为行,以各像素位为列,建立数据表,将获取的扫描成像数据存入信息表相应位置;根据所述信息表,提取各X轴或Y轴位置处包含各Z轴位置至的成像数据,滤除冗余数据,并对提取的数据按从至的顺序进行排序,即可获得每一个X轴或Y轴位置处沿Z轴的最终扫描成像数据;当一个X轴或Y轴位置处存在多个相同Z轴位置处的成像数据时,取第一个相同Z轴位置处的成像数据作为该Z轴位置最终值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院微电子研究所,其通讯地址为:100029 北京市朝阳区北土城西路3号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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