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龙图腾网获悉西安电子科技大学申请的专利一种三明治结构石英谐振器及其优化方法、氢气传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116718641B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310499444.3，技术领域涉及：G01N27/00；该发明授权一种三明治结构石英谐振器及其优化方法、氢气传感器是由纪静;赵萌;李凯悦;王佳龙;杜晓雯;赵欣佳设计研发完成，并于2023-05-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种三明治结构石英谐振器及其优化方法、氢气传感器在说明书摘要公布了：本发明涉及一种三明治结构石英谐振器及其优化方法、氢气传感器，石英谐振器包括：金属电极和石英光板；金属电极分别设置在石英光板上下两侧，形成三明治结构；下侧金属电极包括：从下至上依次层叠设置的铂电极和铬电极；上侧金属电极包括：沿石英光板长度方向间隔设置的第一电极和第二电极；第一电极包括：从下至上依次层叠设置的铬电极、金电极和铂电极；第二电极包括：从下至上依次层叠设置的铬电极和金电极；铂电极的厚度均为0.2μm。本发明使用优化铂电极厚度的石英谐振器，实现了石英谐振器良好的解耦特性和能陷效果，降低了传感器工作时谐振器寄生模式的干扰，减少了能量损失，提高石英谐振器的工作性能，进而提高传感器的灵敏度。

本发明授权一种三明治结构石英谐振器及其优化方法、氢气传感器在权利要求书中公布了：1.一种三明治结构石英谐振器优化方法，其特征在于， 三明治结构石英谐振器，包括金属电极和石英光板；所述金属电极分别设置在所述石英光板上下两侧，形成三明治结构；下侧金属电极包括：从下至上依次层叠设置的铂电极和铬电极；上侧金属电极包括：沿所述石英光板长度方向间隔设置的第一电极和第二电极；所述第一电极包括：从下至上依次层叠设置的铬电极、金电极和铂电极；所述第二电极包括：从下至上依次层叠设置的铬电极和金电极； 所述三明治结构石英谐振器的优化方法包括： 步骤一：采用质量等效法，沿长度方向对石英谐振器划分等效区域，构建石英谐振器仿真模型；所述等效区域内，以石英光板为基准，其上下的电极尺寸与石英光板等效相同； 其中，所述第一电极和所述第二电极位于不同的等效区域； 步骤二：沿所述石英谐振器仿真模型的长度方向设置路径X，选择若干个铂电极的厚度尺寸，仿真得到不同厚度铂电极的石英谐振器归一化的位移值在路径X上的分布的曲线图，确定解耦特性最佳的铂电极厚度； 所述步骤二包括： 步骤21：沿所述石英谐振器仿真模型的长度方向设置路径X，选择若干个铂电极的厚度尺寸，分别仿真获取不同厚度铂电极的石英谐振器对应的所述路径X上的位移值； 步骤22：归一化处理所述位移值，得到不同厚度铂电极的石英谐振器归一化的位移值在路径X上的分布的曲线图； 步骤23：根据所述曲线图，分别计算不同厚度铂电极的石英谐振器的耦合系数，确定解耦特性最佳的铂电极厚度；耦合系数为： ； 其中，为曲线的最小值；为曲线的最大值； 步骤三：仿真得到不同厚度铂电极的石英谐振器归一化的位移值在对应的石英谐振器厚度切变振动模式下的三维曲面图上的分布，确定能陷效果最佳的铂电极厚度； 所述步骤三包括： 步骤31：利用仿真软件，分别建立不同厚度铂电极的石英谐振器厚度切变振动模式下的三维曲面图，获得归一化的位移值在路径X上的分布； 步骤32：根据位移值在三维曲面图上的分布，分析石英谐振器中振动能量的捕捉范围，确定能陷效果最佳的铂电极厚度； 步骤四：根据解耦特性最佳的铂电极厚度和能陷效果最佳的铂电极厚度确定铂电极的厚度，得到优化后的三明治结构石英谐振器。

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