中国电子科技集团公司第四十九研究所刘洋获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十九研究所申请的专利一种耐辐照高温高压热式流量传感器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116678460B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310689494.8,技术领域涉及:G01F1/692;该发明授权一种耐辐照高温高压热式流量传感器及其制备方法是由刘洋;刘成利;赫伟东;孙立凯;程振乾;李宝生;金鹏飞;孙略升;宫占江设计研发完成,并于2023-06-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种耐辐照高温高压热式流量传感器及其制备方法在说明书摘要公布了:一种耐辐照高温高压热式流量传感器及其制备方法,涉及传感器技术领域。本发明的目的是为了解决传统热式流量传感器的制备工艺存在精度低、误差大,工艺制备过程复杂、成本较高及生产周期较长的问题。本发明基于陶瓷共烧工艺技术,主要工艺过程包括冲孔工艺、丝网印刷工艺、叠片工艺、切割工艺和排胶烧结工艺等在内的陶瓷共烧工艺技术。通过电极材料体系、结构设计以及调试校准实现不同流量流速的流量传感器制备。本发明的制造方法可以降低温度梯度和提升换热效率,提高精度和使用寿命,满足高温、高压及辐照的特定环境需求。本发明可获得一种耐辐照高温高压热式流量传感器及其制备方法。
本发明授权一种耐辐照高温高压热式流量传感器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种耐辐照高温高压热式流量传感器,其特征在于所述的耐辐照高温高压热式流量传感器由陶瓷基底1、电极阵列、电极引线和保护绝缘层组成,所述的陶瓷基底1由第一、第二、第三和第四陶瓷生瓷带依次叠压组成,所述的电极阵列由感温电极a2Z-1、加热电极a3Z-1、感温电极b2F-1和加热电极b3F-1组成,所述的电极引线由感温电极引线a2Z-1a、加热电极引线a3Z-1a、感温电极引线b2F-1a和加热电极引线b3F-1a组成,所述的保护绝缘层由绝缘保护层a2和绝缘保护层b3组成; 所述的陶瓷基底1上设有开窗结构a1-7和开窗结构b1-8,所述的开窗结构a1-7旁边设有电极过孔a1-1,所述的开窗结构b1-8旁边设有电极过孔b1-2;陶瓷基底1的一侧表面上分别设有引出过孔a1-3、引出过孔b1-4、引出过孔c1-5和引出过孔d1-6; 所述的陶瓷基底1的上表面设置有感温电极a2Z-1、感温电极引线a2Z-1a、加热电极a3Z-1和加热电极引线a3Z-1a;所述的感温电极a2Z-1上设有感温电极a过孔2Z-2,所述的感温电极引线a2Z-1a上设有感温电极引线a过孔2Z-1b,且感温电极a2Z-1与感温电极引线a2Z-1a电连接;所述的加热电极a3Z-1上设有加热电极a过孔3Z-2,所述的加热电极引线a3Z-1a上设有加热电极引线a过孔3Z-1b,且加热电极a3Z-1与加热电极引线a3Z-1a电连接; 所述的陶瓷基底1的下表面设置有感温电极b2F-1、感温电极引线b2F-1a、加热电极b3F-1和加热电极引线b3F-1a;所述的感温电极b2F-1上设有感温电极b过孔2F-2,所述的感温电极引线b2F-1a上设有感温电极引线b过孔2F-1b,且感温电极b2F-1与感温电极引线b2F-1a电连接;所述的加热电极b3F-1上设有加热电极b过孔3F-2,所述的加热电极引线b3F-1a上设有加热电极引线b过孔3F-1b,且加热电极b3F-1与加热电极引线b3F-1a电连接; 所述的感温电极a过孔2Z-2、电极过孔a1-1与感温电极b过孔2F-2的圆心所在中心线重合,所述的加热电极a过孔3Z-2、电极过孔b1-2与加热电极b过孔3F-2的圆心所在中心线重合,所述的感温电极引线a过孔2Z-1b与引出过孔a1-3的圆心所在中心线重合,所述的加热电极引线a过孔3Z-1b与引出过孔c1-5的圆心所在中心线重合,所述的引出过孔b1-4与感温电极引线b过孔2F-1b的圆心所在中心线重合,所述的引出过孔d1-6与加热电极引线b过孔3F-1b的圆心所在中心线重合; 所述的感温电极a2Z-1、感温电极引线a2Z-1a、加热电极a3Z-1和加热电极引线a3Z-1a的上表面设置有绝缘保护层a2,所述的感温电极b2F-1、感温电极引线b2F-1a、加热电极b3F-1和加热电极引线b3F-1a的下表面设置有绝缘保护层b3。
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