买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司申请的专利一种输送设备、滤罐更换方法和成膜系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116658824B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210148637.X，技术领域涉及：F17D3/01；该发明授权一种输送设备、滤罐更换方法和成膜系统是由徐官基;白国斌;高建峰;杨涛;李俊峰;王文武设计研发完成，并于2022-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种输送设备、滤罐更换方法和成膜系统在说明书摘要公布了：本发明公开一种输送设备、滤罐更换方法和成膜系统，涉及半导体制造技术领域，以利用密封接头降低排放成本的同时，缩短滤罐更换时间。所述输送设备包括第一可控导流管、第二可控导流管以及套设在所述第一可控导流管和所述第二可控导流管上的密封套；所述密封接头具有导通状态和关闭状态。第一可控导流管和第二可控导流管均用于在导通状态导通，在关闭状态下关闭。第一可控导流管和第二可控导流管在导通状态下具有第一缝隙。密封套用于在导通状态密封第一缝隙。本发明提供的输送设备用于成膜系统中。

本发明授权一种输送设备、滤罐更换方法和成膜系统在权利要求书中公布了：1.一种输送设备，其特征在于，用于向工艺腔输送化学药液，所述输送设备包括：输送管道和第一密封接头；所述输送管道包括第一输送管和第二输送管，所述第一密封接头包括第一可控导流管、第二可控导流管以及套设在所述第一可控导流管和所述第二可控导流管上的密封套；所述第一可控导流管与所述第一输送管连通，所述第二可控导流管与所述第二输送管连通；所述第一可控导流管包括第一管道以及设在所述第一管道内的第一弹性开关组件；所述第二可控导流管包括第二管道以及设在所述第二管道内的第二弹性开关组件；所述第一弹性开关组件包括均位于所述第一管道内的第一弹性件、第一封堵件以及设在所述第一封堵件上的顶柱；所述第二弹性开关组件包括均位于所述第二管道内的第二弹性件和第二封堵件； 所述第一密封接头具有导通状态和关闭状态，所述第一可控导流管和所述第二可控导流管均用于在所述导通状态导通，在所述关闭状态下关闭，所述第一可控导流管和所述第二可控导流管在导通状态下具有第一缝隙；所述密封套用于在所述导通状态密封所述第一缝隙； 所述输送管道与滤罐连通，所述滤罐内容置有液体，在第一密封接头处在导通状态，输送管道排除滤罐内的液体；在第一密封接头处在关闭状态替换所述滤罐； 所述第二可控导流管与所述密封套在所述导通状态处在锁定状态；所述第二可控导流管与所述密封套在所述关闭状态处在解锁状态;所述密封套与所述第一可控导流管形成有第二缝隙，所述第二可控导流管的管壁伸入所述第二缝隙内；所述第二缝隙包括沿着所述第二缝隙的深度增加方向分布的导通区和关闭区域，所述第二缝隙的深度方向与所述密封套的轴向方向相同；所述第二可控导流管的管壁伸入所述第二缝隙的一端在所述导通状态处在所述导通区，在所述关闭状态处在所述关闭区域。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司，其通讯地址为：100029 北京市朝阳区北土城西路3号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。