大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司胡志强获国家专利权
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龙图腾网获悉大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司申请的专利定向凝固制备溅射靶材用硅钼合金的装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116604001B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310603892.3,技术领域涉及:B22D27/04;该发明授权定向凝固制备溅射靶材用硅钼合金的装置及方法是由胡志强;李鹏廷;孙岩;郭校亮;庞大宇设计研发完成,并于2023-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本定向凝固制备溅射靶材用硅钼合金的装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种定向凝固制备溅射靶材用硅钼合金的装置及方法,包括定向凝固炉,定向凝固炉的底部设置有保护气入口,顶部设置有保护气出口;定向凝固炉内设置有陶瓷坩埚,陶瓷坩埚内设置有石墨坩埚,陶瓷坩埚与石墨坩埚之间设置有保温层;石墨坩埚的底部设置有热电偶,定向凝固炉内位于石墨坩埚的上方设置有红外测温仪;陶瓷坩埚的底部设置有水冷机构;定向凝固炉内位于陶瓷坩埚外部设置有感应线圈,感应线圈连接有移动机构,移动机构带动感应线圈上下移动。本发明通过铸造法制备硅钼合金,实现硅钼靶材的快速化、均匀化制备;通过控制凝固相关参数及原料纯度,提高硅钼合金致密性的同时,有效降低含氧量,实现高性能溅射靶材用硅钼合金的制备。
本发明授权定向凝固制备溅射靶材用硅钼合金的装置及方法在权利要求书中公布了:1.利用定向凝固制备溅射靶材用硅钼合金的装置定向凝固制备溅射靶材用硅钼合金的方法,其特征在于,所述定向凝固制备溅射靶材用硅钼合金的装置包括定向凝固炉1,定向凝固炉1的底部设置有保护气入口101,顶部设置有保护气出口102;定向凝固炉1内设置有陶瓷坩埚2,陶瓷坩埚2内设置有石墨坩埚3,陶瓷坩埚2与石墨坩埚3之间设置有保温层4;石墨坩埚3的底部设置有热电偶5,定向凝固炉1内位于石墨坩埚3的上方设置有红外测温仪6;陶瓷坩埚2的底部设置有水冷机构7;定向凝固炉1内位于陶瓷坩埚2外部设置有感应线圈8,感应线圈8连接有移动机构,移动机构带动感应线圈8上下移动; 定向凝固制备溅射靶材用硅钼合金的方法包括以下步骤: S1将硅料和钼料加入石墨坩埚3中,向定向凝固炉1内通入保护气,同时启动水冷机构7;钼料和硅料的质量比为0.01-0.07:1; S2向感应线圈8通入电流,感应加热石墨坩埚3,使石墨坩埚3内的原料温度升高至1420℃,确保原料完全融化; S3原料完全熔化后,通过移动机构带动感应线圈8上移,使石墨坩埚3内的熔体形成自上而下的温度梯度,促进石墨坩埚3内部熔体自发定向凝固,熔体完全凝固后,即得硅钼合金;熔体的温度梯度为2-6℃mm。
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