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龙图腾网获悉宁波润华全芯微电子设备有限公司申请的专利一种用于涂胶单元的气液分离收集装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116532322B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310465738.4，技术领域涉及：B05C11/10；该发明授权一种用于涂胶单元的气液分离收集装置是由王冲;姜岩松;陈胜华设计研发完成，并于2023-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于涂胶单元的气液分离收集装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用于涂胶单元的气液分离收集装置。收集装置包括：底座，底座包括第一壁和第二壁；第一分隔板；第二分隔板，第二分隔板与第二壁配合连接，第一分隔板与第二分隔板夹设形成第一通道，第一通道与容纳槽连通；第三分隔板，第三分隔板与第二分隔板配合连接，第二分隔板与第三分隔板夹设形成第二通道，第二通道与容纳槽连通；其中，第一壁包围形成容纳空间，容纳空间用于放置晶圆和承载座，晶圆匀胶产生的废液通过第一通道进入容纳槽，晶圆匀胶产生的废气通过第二通道进入容纳槽。本发明解决的问题是：相关技术中的技术方案无法将匀胶过程中的废气废液进行有效地分离收集。

本发明授权一种用于涂胶单元的气液分离收集装置在权利要求书中公布了：1.一种用于涂胶单元的气液分离收集装置，其特征在于，所述收集装置包括： 底座100，所述底座100包括第一壁110和第二壁120，所述第一壁110和所述第二壁120夹设形成容纳槽130，所述第二壁120的直径大于所述第一壁110的直径； 第一分隔板200，所述第一分隔板200与所述第一壁110配合连接； 第二分隔板300，所述第二分隔板300与所述第二壁120配合连接，所述第一分隔板200与所述第二分隔板300夹设形成第一通道210，所述第一通道210与所述容纳槽130连通； 第三分隔板400，所述第三分隔板400与所述第二分隔板300配合连接，所述第二分隔板300与所述第三分隔板400夹设形成第二通道310，所述第二通道310与所述容纳槽130连通； 其中，所述第一壁110包围形成容纳空间111，所述容纳空间111用于放置晶圆和承载座，且所述承载座的高度位于所述第一分隔 板200和所述第二分隔板300之间，所述晶圆匀胶产生的废液通过所述第一通道210进入所述容纳槽130，所述晶圆匀胶产生的废气通过所述第二通道310进入所述容纳槽130； 所述第二分隔板300包括：连接板320和分流板330，所述连接板320与所述第二壁120配合连接；所述分流板330与所述连接板320之间通过多个周向均匀设置的连接件321连接；每两个连接件321之间形成了镂空处，多个镂空处用于供废气进入第二通道310后，通过多个镂空处进入容纳槽130； 所述底座100包括排液口140和至少一个导风口150，所述排液口140设于所述底座100的底部表面；所述导风口150相对于所述底座100的底部表面凸出。

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