冠礼控制科技(上海)有限公司林裕哲获国家专利权
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龙图腾网获悉冠礼控制科技(上海)有限公司申请的专利一种适用于半导体高洁净度化学品溶液的调配装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116474636B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310451936.5,技术领域涉及:B01F35/71;该发明授权一种适用于半导体高洁净度化学品溶液的调配装置是由林裕哲;简建至;赵龙山;简水村设计研发完成,并于2023-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于半导体高洁净度化学品溶液的调配装置在说明书摘要公布了:本发明属于化学溶液高纯度调配技术领域,且公开了一种适用于半导体高洁净度化学品溶液的调配装置,包括底座,底座上表面的一侧设有调控机构,底座上表面设有多组支撑板。本发明通过使第一进料管内的清洗液和第二进料管的干燥气体交替通过前侧的导管进入到环壳的内腔,通过环壳内腔的另一侧清洗液或干燥气体与吸管相反的转动方向,调高清洗液或干燥气体沿着吸管内壁的相对流动速度,从而提高吸管内壁的附着物与清洗液或干燥气体的碰撞力度,从而提高吸管内壁的清洗效果,进而解决了传统吸管内部的清洗液不易发生流动,从而导致吸管内壁清洗效果差,易残留的问题,从而解决了残留杂质污染溶剂原液,导致洁净度降低的问题。
本发明授权一种适用于半导体高洁净度化学品溶液的调配装置在权利要求书中公布了:1.一种适用于半导体高洁净度化学品溶液的调配装置,包括底座1,所述底座1上表面中部的前侧固定安装有溶剂箱201,所述底座1上表面中部的后侧固定安装有溶液箱202,其特征在于:所述底座1上表面的一侧设有调控机构3,所述底座1上表面中部的另一侧圆周等距设有多组支撑板4,多组所述支撑板4的顶端固定安装有环壳5,所述环壳5的中部固定安装有支撑环6,所述支撑环6的中部滑动套接有圆块7,所述圆块7的上表面圆周等距固定安装有多组与支撑环6滑动套接的卡块8,所述卡块8外侧的底端固定安装有与支撑环6外曲面滑动套接的环套9,所述环套9的外侧面圆周等距开设有多组安装孔901,所述环套9的上表面圆周等距开设有多组安装槽902,多组所述安装孔901的中部均活动套接有齿轮轴10,多组所述安装槽902的中部均滑动套接有齿条11,所述齿条11的底端固定安装有与环壳5滑动套接的限位环12,多个所述齿轮轴10远离支撑环6的一端均固定安装有固定套13,多个所述固定套13的中部均设有吸管14,所述圆块7的中部与底座1的上表面之间设有升转机构15,所述升转机构15与环壳5上表面之间设有阀门机构16,所述底座1上表面的前后两侧设有与调控机构3和环壳5连接的换向阀机构17; 所述调控机构3包括导向壳307,所述导向壳307固定安装在底座1上表面的一侧,所述底座1后侧面靠近导向壳307的一侧固定安装有第一驱动件301,所述第一驱动件301输出轴的前端固定安装有螺纹杆302,所述螺纹杆302的螺纹曲面连接有与导向壳307滑动套接的螺纹滑块303,所述导向壳307的中部滑动套接有与螺纹滑块303固定连接的支撑轴304,所述支撑轴304的顶端固定安装有伸缩杆一305,所述伸缩杆一305伸缩端的底端固定安装有管轴306,所述支撑轴304底部靠近环壳5的一侧固定安装有与导向壳307滑动套接的安装块308,所述安装块308的底面两侧均固定安装有夹柱309; 所述升转机构15包括驱动座1501,所述驱动座1501固定安装在底座1上表面中部的前侧,所述驱动座1501内腔的顶面固定安装有第二驱动件1502,所述第二驱动件1502输出轴的底端固定安装有主动齿轮1503,所述圆块7的中部固定安装有伸缩套1506,所述伸缩套1506的中部滑动套接有与底座1活动套接的伸缩杆二1505,所述伸缩杆二1505的底部固定安装有与主动齿轮1503啮合的被动齿轮1504; 所述阀门机构16包括限位套1601,所述限位套1601固定安装在伸缩套1506曲面的底部,所述限位套1601的侧面滑动套接有与伸缩套1506滑动套接的安装套1602,所述安装套1602的侧面圆周等距设有多组活动套接的曲柄1603,所述曲柄1603远离安装套1602的一端活动套接有推杆1604,所述环壳5上表面圆周等距设有多组导向阀块1606,两个相邻导向阀块1606的中部滑动套接有与推杆1604固定连接的阀门1605。
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