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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种硅片位置检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116466548B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310506841.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种硅片位置检测装置是由丁彭刚;马万明;王洪宇;杨树文;于朋扬设计研发完成，并于2023-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片位置检测装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种硅片位置检测装置，其中，该装置包括底座、竖直支架、设置在竖直支架上的移动件、放置台、电机、信号发射器、信号接收器和控制器，竖直支架的一端与底座固定连接，竖直支架的另一端分别固定有信号发射器和信号接收器，信号发射器和信号接收器对齐设置，且在信号发射器和信号接收器之间形成有可移动空间，放置台用于承放硅片盒，硅片盒内放置有多个硅片，放置台与移动件连接，在电机的转动下带动移动件移动来控制放置台沿竖直方向运动，以使硅片盒内的多个硅片依次通过可移动空间；控制器根据信号接收器对应的探测时间，确定多个硅片在硅片盒内的放置情况。达到准确检测硅片盒内的硅片放置情况的效果。

本发明授权一种硅片位置检测装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片位置检测装置，其特征在于，所述装置包括底座、竖直支架、设置在所述竖直支架上的移动件、放置台、电机、信号发射器、信号接收器和控制器， 所述竖直支架的一端与所述底座固定连接，所述竖直支架的另一端分别固定有信号发射器和信号接收器，信号发射器和信号接收器对齐设置，且在信号发射器和信号接收器之间形成有可移动空间， 所述放置台用于承放硅片盒，所述硅片盒内放置有多个硅片，所述放置台与所述移动件连接，在所述电机的转动下带动移动件移动来控制所述放置台沿竖直方向运动，以使所述硅片盒内的多个硅片依次通过所述可移动空间； 控制器根据所述信号接收器对应的探测时间，确定所述多个硅片在所述硅片盒内的放置情况； 所述硅片盒包括上面板、下面板、第一侧面板和第二侧面板，第一侧面板的第一侧边与上面板的第一侧边固定连接，第一侧面板的第二侧边与下面板的第一侧边固定连接，第二侧面板的第一侧边与上面板的第二侧边固定连接，第二侧面板的第二侧边与下面板的第二侧边固定连接， 其中，所述第一侧面板的第一侧边与第一侧面板的第二侧边为相对的两个侧边，第二侧面板的第一侧边与第二侧面板的第二侧边为相对的两个侧边，上面板的第一侧边与上面板的第二侧边为相对的两个侧边，下面板的第一侧边与下面板的第二侧边为相对的两个侧边， 在第一侧面板的多个预设位置处设置有硅片放置槽，在第二面侧板与第一面侧板的多个预设位置对齐的位置处设置有硅片放置槽，多个硅片分别放置在第一侧面板的多个放置槽和第二侧面板的多个放置槽之间所形成的多个插槽中； 第一侧面板的多个预设位置之间的间距为标准间距值，第二侧面板的多个预设位置之间的间距为标准间距值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区泰河三街1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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