洛阳汇晶新材料科技有限公司邓德翼获国家专利权
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龙图腾网获悉洛阳汇晶新材料科技有限公司申请的专利一种降低靶材内部组织缺陷的装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116441544B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310471871.0,技术领域涉及:B22F5/12;该发明授权一种降低靶材内部组织缺陷的装置及方法是由邓德翼;王淑辉;李晨浩设计研发完成,并于2023-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种降低靶材内部组织缺陷的装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种降低靶材内部组织缺陷的装置及方法,包括以下步骤:将不同批次外购的原料混合60‑90min分钟再后通过200目筛网的振动筛进行筛分,从而混合的超细粉末原料;将混合后的原料称量并装入胶套内部并抽真空;将内管插入到橡胶模具内圈中,使调节橡胶模具内侧面不会向内弯曲形变。该降低靶材内部组织缺陷的装置及方法,可以在填充前排出橡胶模具1内部空气,然后直接通过原料挤压并填充满橡胶模具1,避免原料填充过程中空气无法排出,可以在靶材制备过程中大大减少靶材内部残留气体,减小靶材内组织缺陷,从而提高靶材致密性,还可以避免由于残留气体的原因使靶材出现表面缺陷。
本发明授权一种降低靶材内部组织缺陷的装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种降低靶材内部组织缺陷的方法,其特征在于:包括以下步骤: S1、超细粉末原料制备:将不同批次外购的原料混合60-90min分钟再后通过200目筛网的振动筛进行筛分,从而混合的超细粉末原料; S2、粉料装套抽真空:将混合后的原料称量并装入胶套内部并抽真空; 粉料装套抽真空的步骤具体包括: S21、将内管3插入到橡胶模具1内圈中,使调节橡胶模具1内侧面不会向内弯曲形变; S22、通过顶环5将橡胶模具1的底部顶起,并使其内腔底部向其开口处移动,直到内腔底部与开口处平齐,从而排出橡胶模具1内部空气; S23、将外管4套在橡胶模具1的外侧,并通过夹子将橡胶模具1的外壁与外管4夹在一起,通过夹子将橡胶模具1内壁与内管3夹在一起; S24、将粉料装入橡胶模具1开口处并按压,使橡胶模具1内腔逐渐变深,同时粉料跟随橡胶模具1深度的变化填充满橡胶模具1内腔,此时顶环5自动脱落,然后通过密封环塞2对橡胶模具1开口进行封堵,并取下内管3和外管4; S25、将橡胶模具1放入到真空机内部抽真空,抽真空时间为20s,然后取出橡胶模具1即可; S3、冷等静压成型:将胶套放入冷等静压机内部,在200MPa~300MPa压力下冷等静压成型,并制得第一次管坯; S4、烧结:将成型的坯料放置在中频感应烧结炉中,中频感应烧结炉的温度均匀性≤±10℃,加热工作温度1300~1400℃,烧结时间为4~6小时,并制得第二次管坯; S5、管坯加热:烧结出的空心管坯在工频感应烧结炉中加热至1300℃~1400℃后,并保温3~4小时; S6、挤压:将保温的空心管坯料送至卧式挤压机进行挤压,用来提高管材的密度、细化其精度,并制得第三次管坯; S7、退火:将挤压后的管坯放入退火炉进行退火,退火炉温度800℃~900℃,退火时间90~120min; S8、精整矫直:采用回转矫直机对管坯进行矫直,并制得第四次管坯; S9、探伤:采用超声波探伤仪对矫直后的旋转靶材材进行检验; S10、机加工:将检测合格的第四次管材通过机加工加工为成品管材,并通过真空包装机进行包装。
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