青岛物元技术有限公司黄永发获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛物元技术有限公司申请的专利光刻胶材料及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116256945B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310252610.X，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权光刻胶材料及其应用是由黄永发;邱杰振;颜天才设计研发完成，并于2023-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻胶材料及其应用在说明书摘要公布了：本发明提供一种光刻胶材料及其应用。该光刻胶材料包括化学放大光刻胶及加入化学放大光刻胶中的iLinePAC。将该光刻胶材料应用于193nm或248nm的光刻工艺中，可以增加曝光后的光酸总量，在后续显影过程中实现与显影液的酸碱中和，避免产生显影液或聚合物残留而造成无法蚀刻的问题，且无需进行显影液的去除工艺，提高光刻工艺的效率及光刻的质量。
本发明授权光刻胶材料及其应用在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶材料，用于193nm或248nm光刻工艺，其特征在于，包括：化学放大光刻胶，以及加入所述化学放大光刻胶中的iLinePAC； 所述化学放大光刻胶为193nm或248nm光源下所使用的光刻胶；所述iLinePAC为365nm光源下所使用的光活性化合物，在经过193nm或248nm的光源曝光后，所述iLinePAC可转变为光酸，在后续显影过程中，实现与显影液的酸碱中和，所述iLinePAC包括正苯基甘氨酸、二苯甲酮、N,N'-四甲基-4,4'-二氨基二苯甲酮、4-甲氧基-4'-二甲基氨基二苯甲酮、2-乙基蒽醌、苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻正丁基醚、1,1-二氯苯乙酮、对叔丁基二氯-苯乙酮中的一种或两种以上的组合； 所述化学放大光刻胶包括光致产酸剂、聚合物树脂、溶剂以及添加剂。
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