上海华力微电子有限公司李嘉成获国家专利权
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龙图腾网获悉上海华力微电子有限公司申请的专利向光刻设备派送光罩的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116243567B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310342632.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权向光刻设备派送光罩的方法是由李嘉成;严甲武;程杰;朱兆亮;张晖设计研发完成，并于2023-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本向光刻设备派送光罩的方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种向光刻设备派送光罩的方法，包括：步骤S1：筛选出负载小于第一设定值的光刻设备或者筛选出光刻设备对应的高能量光罩和低能量光罩的比例达到第二设定值且负载小于第三设定值的光刻设备；步骤S2：从筛选出的光刻设备中选出负载最低的光刻设备；步骤S3：根据生产计划要求和光罩的高低温要求评估光罩的生产要求紧急度；步骤S4：将紧急生产要求最高的光罩派送到负载最低的光刻设备。本发明将在向光刻设备派送光罩时将光罩的高低温要求考虑进去，从而将低能量光罩考虑到高温光刻设备的生产中，实现高能量光罩和低能量产品的交叉作业。从而提高了光刻设备的利用率，减少了机台的浪费和生产时间。
本发明授权向光刻设备派送光罩的方法在权利要求书中公布了：1.一种向光刻设备派送光罩的方法，其特征在于，包括： 步骤S1：筛选出负载小于第一设定值的光刻设备或者筛选出光刻设备对应的高能量光罩和低能量光罩的比例达到第二设定值且负载小于第三设定值的光刻设备； 步骤S2：从筛选出的光刻设备中选出负载最低的光刻设备； 步骤S3：根据生产计划要求和所述光罩的高低温要求评估光罩的生产要求紧急度； 步骤S4：将紧急生产要求最高的光罩派送到负载最低的光刻设备； 步骤S5：按照所述光刻设备的紧急程度派送剩余的光罩。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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