北京中科科仪股份有限公司刘炯获国家专利权
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龙图腾网获悉北京中科科仪股份有限公司申请的专利分子泵获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116241484B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211712298.X,技术领域涉及:F04D19/04;该发明授权分子泵是由刘炯;时剑文;李赏设计研发完成,并于2022-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本分子泵在说明书摘要公布了:本发明涉及真空设备技术领域,具体涉及分子泵,该分子泵包括外壳、叶片级、拖动级和第一特斯拉阀结构,外壳设有进气口和排气口,叶片级设置于外壳内,叶片级与进气口连通,拖动级设置于外壳内并且位于叶片级的下游,拖动级与排气口连通,拖动级包括设置于外壳内壁的静牵引盘以及和转轴传动连接的拖动盘,拖动盘和静牵引盘沿转轴的轴向交替设置,第一特斯拉阀结构设置于静牵引盘的表面,以对自拖动盘正向流入的气体进行导流并对自排气口反向流入的气体进行阻流。本发明能够对自拖动盘正向流入的气体进行导流,确保其流动方向及路径,还能对自排气口反向流入的气体进行阻流,增强对气体的拖动效果,减少气体返流现象,提升分子泵的可靠性及稳定性。
本发明授权分子泵在权利要求书中公布了:1.一种分子泵,其特征在于,包括: 外壳1,设有进气口和排气口121; 叶片级2,设置于所述外壳1内,所述叶片级2与所述进气口连通; 拖动级3,设置于所述外壳1内并且位于所述叶片级2的下游,所述拖动级3与所述排气口121连通,所述拖动级3包括设置于所述外壳1内壁的静牵引盘31以及和转轴5传动连接的拖动盘32,所述拖动盘32和所述静牵引盘31沿所述转轴5的轴向交替设置; 第一特斯拉阀结构,设置于所述静牵引盘31的表面,以对自所述拖动盘32正向流入的气体进行导流并对自所述排气口121反向流入的气体进行阻流;所述第一特斯拉阀结构包括螺旋流道311和特斯拉阀流道312,其中,所述螺旋流道311开设于所述静牵引盘31的表面,所述螺旋流道311的进气端与上层相邻的所述拖动盘32对应连通,所述螺旋流道311的出气端与下层相邻的所述拖动盘32连通,所述特斯拉阀流道312开设于所述静牵引盘31的表面并与所述螺旋流道311连通,沿气体在所述螺旋流道311内的流动方向,所述特斯拉阀流道312设置于所述螺旋流道311的反向切线上,所述特斯拉阀流道312能够对沿所述螺旋流道311正向流动的气体进行导流以及能够对沿所述螺旋流道311反向流动的气体进行阻流。
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