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龙图腾网获悉燕山大学申请的专利纳米多晶金刚石圆弧刃车刀的化学机械抛光方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116197744B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310170466.5，技术领域涉及：B24B3/34；该发明授权纳米多晶金刚石圆弧刃车刀的化学机械抛光方法及装置是由陈俊云;韩鑫;靳田野设计研发完成，并于2023-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本纳米多晶金刚石圆弧刃车刀的化学机械抛光方法及装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种纳米多晶金刚石圆弧刃车刀的化学机械抛光方法，步骤为：制备A型和B型抛光液；利用浸水状态下的玻璃盘作为粗抛抛光盘，通过夹具将纳米多晶金刚石圆弧刃车刀放于玻璃细盘上，设定粗抛工艺参数，并利用A型抛光液对纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行粗抛，得到切削刃钝圆半径为100mm‑200nm的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀；选取具有惰性且硬度适中的氧化铝作为磨粒，通过夹具将纳米多晶金刚石圆弧刃车刀放于玻璃细盘上，设定精抛工艺参数，并利用B型抛光液对纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行抛光，得到钝圆半径小于50nm的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀。本发明具有更高的材料去除率，得到具有锋利刃口的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀。

本发明授权纳米多晶金刚石圆弧刃车刀的化学机械抛光方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种纳米多晶金刚石圆弧刃车刀的化学机械抛光方法，其特征在于，具体实施步骤如下： S1、制备A型抛光液： S11、将去离子水、磷酸、金刚石磨粒和球形二氧化硅依次放入到烧杯内，接着利用超声分散器与涡旋混匀器震荡分散烧杯内的试剂10-20min，静置5min并判断溶液是否出现分层，如有分层则继续进行反复震荡，如无分层现象时则得到混合溶液并进行步骤S12； S12、将高锰酸钾加入到S11得到的混合溶液内，并用玻璃棒搅拌，将搅拌均匀的混合溶液进行5min的超声分散，得到A型抛光液； S2、制备B型抛光液： S21、将去离子水、氧化铝磨粒和球形二氧化硅依次放入到烧杯内，使用胶头滴管加入一定量的磷酸，接着加入一定量的硫酸亚铁粉末，利用超声分散器与涡旋混匀器超声震荡分散烧杯内的试剂10-20min，静置5min并判断溶液是否出现分层，如有分层则继续进行反复震荡，如无分层现象时则得到混合溶液并进行步骤S22； S22、取一定量的NaOH加入到去离子水中，搅拌静置待用； S23、用胶头滴管取一定量的浓度为30%的过氧化氢溶液，并将其滴加到S21得到的混合溶液中进行搅拌，将搅拌的混合溶液进行5min的超声分散；接着用胶头滴管将S22配置的NaOH溶液缓慢滴加到超声分散得到的混合溶液中，直至PH降至3，得到B1型抛光液； S24、将去离子水、磷酸、氧化铝磨粒和球形二氧化硅依次放入到烧杯内，接着利用超声分散器与涡旋混匀器超声震荡分散烧杯内的试剂10-20min，静置5min并判断溶液是否出现分层，如有分层则继续进行反复震荡，如无分层现象时则得到混合溶液并进行步骤S25； S25、将高锰酸钾加入到S24得到的混合溶液内进行搅拌，将搅拌均匀的混合溶液进行5min的超声分散，得到B2型抛光液； S3、利用A型抛光液对纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行粗抛： S31、利用浸水状态下的玻璃盘为磨粒提供游离环境，对纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行化学机械抛光； S32、将玻璃盘平整粘接在磨床上，通过夹具将纳米多晶金刚石圆弧刃车刀安放于玻璃细盘上； S33、设定玻璃盘的转速，并向夹具施加一定的抛光压力，同时通过蠕动泵以3mlmin的流速向玻璃盘上滴加抛光液对纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行抛光，得到切削刃钝圆半径为100mm-200nm的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀； S34、利用100倍光学显微镜对步骤S33得到的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行检查，得到粗抛的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀； S4、利用B型抛光液对纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行精抛： S41、为了减少精抛过程中纳米多晶金刚石圆弧刃车刀切削刃的晶粒脱落，选取具有惰性且硬度适中的氧化铝作为磨粒； S42、将玻璃盘平整粘接在磨床上，通过夹具将纳米多晶金刚石圆弧刃车刀安放于玻璃细盘上； S43、设定玻璃盘的转速，并向夹具施加一定的抛光压力，同时通过蠕动泵以3mlmin的流速向玻璃盘上滴加抛光液对纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行抛光； S44、利用500倍光学显微镜对步骤S33得到的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀进行检查，得到精抛的纳米多晶金刚石圆弧刃车刀。

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