大立钰科技有限公司潘世峰获国家专利权
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龙图腾网获悉大立钰科技有限公司申请的专利晶圆存取总成及其晶圆存取装置与晶圆载具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116031184B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111240012.8，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权晶圆存取总成及其晶圆存取装置与晶圆载具是由潘世峰设计研发完成，并于2021-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆存取总成及其晶圆存取装置与晶圆载具在说明书摘要公布了：本申请提供一种晶圆存取总成及其晶圆存取装置与晶圆载具，其中，该晶圆存取装置包含有底座、轴杆、多个连动板、多个手臂以及伸缩组件，该底座具有长槽，该轴杆可滑动地伸入该长槽中，多个连动板套设于该轴杆，各连动板具有板体以及穿孔，该穿孔穿设于该板体供该轴杆穿过，各手臂由该连动板的板体的一端延伸而出，该伸缩组件包含多个连接侧壁，各连接侧壁分别设于各连动板并使相邻的连动板连接在一起，多个连接侧壁可进行伸缩以改变相邻连动板之间的距离。借此，晶圆载具的体积可缩减一半，且晶圆存取装置可同时真空吸附多个晶圆，达到更高的晶圆存取效率。
本发明授权晶圆存取总成及其晶圆存取装置与晶圆载具在权利要求书中公布了：1.一种晶圆存取装置，其特征在于，包含： 底座，具有长槽； 轴杆，可滑动地伸入所述长槽中； 多个连动板，套设于所述轴杆，各所述连动板具有板体以及穿孔，所述穿孔穿设于所述板体供所述轴杆穿过； 多个手臂，各所述手臂由各所述连动板的板体的一端延伸而出；以及 伸缩组件，包含： 多个连接侧壁，各所述连接侧壁分别设于各所述连动板并使相邻的所述连动板连接在一起，且各所述连接侧壁可进行伸缩以改变相邻所述连动板之间的距离； 带动块，可上下移动地设于所述轴杆，所述带动块和位于最顶层的所述连动板连接且能够带动位于最顶层的所述连动板朝上位移或朝下位移，进而使各所述连动板伸展或闭合以增大或减小各所述连动板之间的距离；以及 螺柱，所述螺柱容设于所述轴杆内，所述带动块包含有衬套，所述衬套伸入所述轴杆内且位于所述轴杆与所述螺柱之间，当所述螺柱旋转能够驱使所述带动块上下移动。
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