深圳市矩阵多元科技有限公司张晓军获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利支撑装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115831701B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211663288.1，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权支撑装置是由张晓军;邵寿潜;夏慧;罗敏设计研发完成，并于2022-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本支撑装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种支撑装置，包括：基台，具有凹槽；支撑针，沿竖直方向，所述支撑针能够相对于所述基台升降，以使所述支撑针在支撑位置和初始位置之间切换，所述支撑针位于所述初始位置时，所述支撑针设置于所述凹槽中，且所述支撑针的顶端的端面高于所述基台的端面；其中，所述支撑针的至少部分由导电橡胶制成，所述导电橡胶具有弹性，基板放置于所述基台上时，所述支撑针抵持于所述基板，所述支撑针的顶端的端面与所述基台的端面齐平本发明的支撑装置，能够有效避免在支撑台上形成高阻抗区域，从而影响基板的成品效果。
本发明授权支撑装置在权利要求书中公布了：1.支撑装置，用于等离子体设备中，其特征在于，所述支撑装置包括： 基台，具有凹槽； 挡板，所述挡板连接在所述凹槽的槽壁上，所述挡板能够封闭或者打开所述凹槽，所述挡板封闭所述凹槽时，所述挡板的上表面与所述基台的端面齐平；所述挡板由导电橡胶制成； 还包括支撑针，所述支撑针设置于所述凹槽中，所述挡板打开所述凹槽时，所述支撑针能够伸出所述凹槽； 沿竖直方向，所述支撑针能够相对于所述基台升降，以使所述支撑针在支撑位置和初始位置之间切换，所述支撑针位于所述支撑位置时，所述支撑针穿过所述挡板，以使所述挡板打开所述凹槽，所述支撑针位于所述初始位置时，所述支撑针设置于所述凹槽中，所述挡板封闭所述凹槽。
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