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龙图腾网获悉厦门特盈自动化科技有限公司申请的专利一种全自动晶圆扩膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115799115B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211538899.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种全自动晶圆扩膜设备是由上官龙威;李江坡;方健;刘银城;刘弋阳;胡庆云设计研发完成，并于2022-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种全自动晶圆扩膜设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种全自动晶圆扩膜设备，包括机台和多轴机械手，机械手安装在机台上，机台上还设置有大小铁环上料装置、大小铁环下料装置和扩膜机，扩膜机包括大小铁环压紧组件、顶升扩膜组件和切膜机构，大小铁环压紧组件设置于顶升扩膜组件的上方，切膜机构环绕顶升扩膜组件设置；通过大小铁环上料装置上料，配合多轴机械手将大小铁环上料装置上小铁环装入大小铁环压紧组件上，将大铁环放置于顶升扩膜组件上，通过大小铁环压紧组件和顶升扩膜组件配合将大铁环上的膜均匀扩张，并转换至小铁环上，切膜机构切割完成转换；通过多轴机械手将扩膜后的大铁环、小铁环运送至大小铁环下料装置完成下料，实现扩膜过程的全自动化。

本发明授权一种全自动晶圆扩膜设备在权利要求书中公布了：1.一种全自动晶圆扩膜设备，包括机台和多轴机械手，所述多轴机械手安装在所述机台上，其特征在于：还包括扩膜机，所述机台上还设置有大小铁环上料装置、大小铁环下料装置，所述扩膜机包括大小铁环压紧组件、顶升扩膜组件和切膜机构，所述大小铁环压紧组件设置于所述顶升扩膜组件的上方，所述切膜机构环绕所述顶升扩膜组件设置；通过所述大小铁环上料装置上料，配合所述多轴机械手将大小铁环上料装置上的小铁环装入所述大小铁环压紧组件上，将大铁环放置于所述顶升扩膜组件上，通过所述大小铁环压紧组件和所述顶升扩膜组件配合将大铁环上的膜均匀扩张，并转换至小铁环上，切膜机构切割完成转换；通过多轴机械手将扩膜后的大铁环、小铁环运送至大小铁环下料装置完成下料； 所述大小铁环上料装置设置于机台上的右侧，所述大小铁环上料装置包括大铁环上料架、小铁环上料机构、大铁环检测平台和上料搬运臂，所述大铁环上料架、所述小铁环上料机构和所述大铁环检测平台并排设置，所述大铁环上料架内设置有多层的大铁环上料放置区和大铁环NG放置区；所述小铁环上料机构包括第一顶升驱动件、小铁环顶升板和限位组件，所述第一顶升驱动件上安装所述限位组件和所述小铁环顶升板，小铁环置于所述小铁环顶升板上；所述上料搬运臂用于将所述大铁环上料架的大铁环搬运至所述大铁环检测平台，所述大铁环检测平台包括托盘和安装基座，所述托盘通过θ轴驱动件安装在所述安装基座上，所述托盘的上方设置第二检测CCD；多轴机械手从所述小铁环上料机构抓取小铁环，多轴机械手从所述大铁环检测平台上抓取检测合格的大铁环； 所述大小铁环下料装置包括大铁环下料机构、小铁环下料架、小铁环检测平台和下料搬运臂，所述大铁环下料机构、所述小铁环下料架、所述小铁环检测平台并排设置于机台上的左侧，所述小铁环下料架内设置有多层的小铁环下料放置区和小铁环NG放置区；所述大铁环下料机构与所述小铁环上料机构的区别在于限位组件的结构不同，其余结构均相同；所述小铁环检测平台的结构与所述大铁环检测平台的结构相同，多轴机械手将扩膜完的小铁环放置于所述小铁环检测平台上，将扩膜完的大铁环放置于所述大铁环下料机构上，所述下料搬运臂用于将小铁环检测平台上的小铁环搬运至所述小铁环下料架。

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