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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利接合装置、接合系统以及接合方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115769341B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180048136.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权接合装置、接合系统以及接合方法是由稻益寿史;牧哲也设计研发完成，并于2021-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本接合装置、接合系统以及接合方法在说明书摘要公布了：基于本公开的接合装置41、41A、41B用于将基板之间进行接合，所述接合装置具备第一保持部110、第二保持部120、移动部130、壳体100、干涉仪160、170、第一气体供给部140、140B以及第二气体供给部180、180A。第一保持部110用于从第一基板W1的上方吸附保持第一基板W1。第二保持部120用于从第二基板W2的下方吸附保持第二基板W2。移动部130用于使第一保持部110和第二保持部120中的一方的保持部相对于另一方的保持部沿水平方向移动。壳体100收容第一保持部110、第二保持部120以及移动部130。干涉仪160、170配置于壳体100的内部，干涉仪160、170通过对上述一方的保持部或与上述一方的保持部一同移动的物体照射光来测定到上述一方的保持部或物体的水平距离。第一气体供给部140、140B用于对壳体100的内部供给被清洁化后的第一气体。第二气体供给部180、180A用于对被照射光的上述一方的保持部或上述物体与干涉仪160、170之间的空间供给第二气体。

本发明授权接合装置、接合系统以及接合方法在权利要求书中公布了：1.一种接合装置，用于将基板之间进行接合，所述接合装置具备： 第一保持部，其用于从第一基板的上方吸附保持所述第一基板； 第二保持部，其用于从第二基板的下方吸附保持所述第二基板； 移动部，其用于使所述第一保持部和所述第二保持部中的一方的保持部相对于另一方的保持部沿水平方向移动； 壳体，其收容所述第一保持部、所述第二保持部以及所述移动部； 干涉仪，其配置于所述壳体的内部，所述干涉仪通过对所述一方的保持部或与所述一方的保持部一同移动的物体照射光来测定到所述一方的保持部或所述物体的水平距离； 第一气体供给部，其用于对所述壳体的内部供给被清洁化后的第一气体；以及 第二气体供给部，其用于对被照射所述光的所述一方的保持部或所述物体与所述干涉仪之间的空间供给第二气体， 所述第二气体供给部相对于所述光的光路平行地以覆盖所述光的光路的方式喷出所述第二气体， 所述第二气体供给部具备： 收容部，其收容所述干涉仪； 导入部，其用于对所述收容部导入所述第二气体；以及 喷嘴，其设置于所述收容部，用于喷出从所述导入部导入到所述收容部的所述第二气体， 其中，所述干涉仪从所述收容部的内部经由所述喷嘴照射所述光。

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