株式会社斯库林集团坂本道昭获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利绘制系统、绘制方法以及记录有程序的存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115734479B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210758432.3,技术领域涉及:H05K3/00;该发明授权绘制系统、绘制方法以及记录有程序的存储介质是由坂本道昭设计研发完成,并于2022-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本绘制系统、绘制方法以及记录有程序的存储介质在说明书摘要公布了:本发明提供一种绘制系统。匹配位置决定部设定与对应于临时匹配位置95a的模板相同大小的临时模板区域951a,以临时模板区域951a为中心设定比摄像部的摄像视野大的核对区域952a。匹配位置决定部还确认在核对区域952a中是否存在表示与临时模板区域951a相同的图案的重复区域。然后,在核对区域952a中存在重复区域的情况下,匹配位置决定部反复使临时匹配位置95a向规定方向移动而再次设定临时模板区域951a以及核对区域952a,确认是否存在重复区域。另一方面,在核对区域952a中不存在重复区域的情况下,匹配位置决定部将临时匹配位置95a决定为匹配位置。
本发明授权绘制系统、绘制方法以及记录有程序的存储介质在权利要求书中公布了:1.一种绘制系统,其特征在于,具备: 对基板照射光来绘制图案的绘制装置;以及 创建模板生成信息并将其发送至所述绘制装置的数据处理装置, 所述绘制装置具备: 载台,其保持事先在上表面上设有第1图案的所述基板; 对所述基板的所述上表面照射调制后的光的绘制头; 在与所述基板的所述上表面平行的扫描方向上使所述载台相对于所述绘制头相对移动的扫描机构; 拍摄所述第1图案的一部分的摄像部; 位置检测部,其通过相对于由所述摄像部获取的摄像图像进行使用了模板的图案匹配来检测所述基板的位置; 存储部,其存储第2CAD数据,该第2CAD数据为在所述第1图案上绘制的第2图案的CAD数据; 将所述第2CAD数据栅格化来生成第2栅格数据的数据生成部;以及 绘制控制部,其通过基于所述第2栅格数据以及由所述位置检测部检测出的所述基板的位置来控制所述绘制头以及所述扫描机构,向相对于所述绘制头在所述扫描方向上相对移动的所述基板执行所述第2图案的绘制, 所述存储部还存储包括表示在所述第1图案上由所述位置检测部进行图案匹配的匹配位置的座标在内的所述模板生成信息, 所述数据生成部将所述第1图案的CAD数据栅格化来创建中间数据,从所述中间数据生成与所述匹配位置对应的规定大小的区域的图像数据来作为所述模板, 所述数据处理装置具备: 在所述第1图案上设定临时匹配位置的初始设定部; 匹配位置决定部,其设定与对应于所述临时匹配位置的所述模板相同大小的临时模板区域,以所述临时模板区域为中心设定比所述摄像部的摄像视野大的核对区域,确认在所述核对区域中是否存在表示与所述临时模板区域相同的图案的重复区域,在存在所述重复区域的情况下,反复使所述临时匹配位置向规定方向移动而再次设定所述临时模板区域以及所述核对区域,来确认是否存在所述重复区域,在不存在所述重复区域的情况下,将所述临时匹配位置决定为所述匹配位置;以及 信息创建部,其创建包括表示由所述匹配位置决定部决定的所述匹配位置的座标在内的所述模板生成信息。
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