中国科学院沈阳自动化研究所刘连庆获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院沈阳自动化研究所申请的专利一种基于集成末端针尖微透镜的纳米尺度关联成像系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115728520B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110987530.X，技术领域涉及：G01Q30/02；该发明授权一种基于集成末端针尖微透镜的纳米尺度关联成像系统是由刘连庆;于海波;张天尧;施佳林;王晓朵;刘柱设计研发完成，并于2021-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于集成末端针尖微透镜的纳米尺度关联成像系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于集成末端针尖微透镜的纳米尺度关联成像系统，属于微透镜光学成像与原子力显微镜成像技术领域。该系统包括扫描探针显微镜、微透镜和探针针尖；在扫描探针显微镜的纳米移动平台上设有样品台，扫描探针显微镜的悬臂梁末端耦合微透镜，微透镜底部沉积探针针尖，光学显微镜位于微透镜上方。本发明通过微透镜结合光学成像系统实现超分辨率光学成像，微透镜底部针尖同步进行原子力显微镜成像；开展半导体器件制造、错误检测、缺陷定位研究，解决了器件特征尺寸的减小和集成电路图案复杂性的增加对检测的质量和效率要求高、需要能够快速成像大面积并提供电路节点级高分辨率图像的高通量成像的问题。
本发明授权一种基于集成末端针尖微透镜的纳米尺度关联成像系统在权利要求书中公布了：1.一种基于集成末端针尖微透镜的纳米尺度关联成像系统，其特征在于：该纳米尺度关联成像系统包括扫描探针显微镜系统、微透镜和微透镜底部的探针针尖，所述扫描探针显微镜系统包括扫描探针显微镜、光学显微镜和探针悬臂梁；其中：所述扫描探针显微镜的探针悬臂梁末端与微透镜上端耦合，所述微透镜底部设置探针针尖，所述光学显微镜设于所述微透镜上方；该纳米尺度关联成像系统通过扫描探针显微镜探针悬臂梁末端的微透镜增强光学显微镜分辨率，对纳米尺度样本进行实时观测；通过微透镜底部针尖与扫描探针显微镜，对纳米尺度样本进行同步的原子力显微镜成像； 所述探针针尖为金刚石材质，是通过聚焦离子束方法沉积在微透镜底部，沉积针尖长度在微透镜成像工作距离内。
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