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宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司梁万亮获国家专利权

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龙图腾网获悉宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司申请的专利拉晶过程中便于测量大直径晶棒的主炉室炉盖及单晶炉获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115717267B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211558418.5,技术领域涉及:C30B15/00;该发明授权拉晶过程中便于测量大直径晶棒的主炉室炉盖及单晶炉是由梁万亮;马国忠;何玉乐;丁亚国;顾燕滨;河野贵之设计研发完成,并于2022-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。

拉晶过程中便于测量大直径晶棒的主炉室炉盖及单晶炉在说明书摘要公布了:本发明涉及一种拉晶过程中便于测量大直径晶棒的主炉室炉盖,包括盖体,盖体上设置喉口、第一观察窗和第二观察窗,第一观察窗、第二观察窗和喉口成品字状设置在炉体上,第一观察窗上设置第一刻度尺和第一支架,第一目镜以滑动方式设置在第一支架上并能够通过第一观察窗观察单晶炉内部,第二观察窗上设置第二刻度尺和第二支架,第二目镜以滑动方式设置在第二支架上并能够通过第二观察窗观察单晶炉内部,第一刻度尺的零刻度线和第二刻度尺的零刻度线相互靠近设置。通过第一目镜对准熔融硅液面处晶棒的一侧后读取数值L1,第二目镜对准熔融硅液面处晶棒的另一侧读取数值L2,然后将三个数值相加获得晶棒的直径数值。

本发明授权拉晶过程中便于测量大直径晶棒的主炉室炉盖及单晶炉在权利要求书中公布了:1.一种拉晶过程中便于测量大直径晶棒的主炉室炉盖,其特征在于:包括盖体,盖体上设置喉口、第一观察窗和第二观察窗,第一观察窗和第二观察窗位于喉口的一侧,第一观察窗、第二观察窗和喉口成品字状设置在炉体上,第一观察窗和第二观察窗呈对称设置,第一观察窗和第二观察窗之间的距离小于喉口的直径;第一观察窗上设置第一刻度尺,第一观察窗上设置第一支架,第一支架上安装第一目镜,第一目镜以滑动方式设置在第一支架上并能够通过第一观察窗观察单晶炉内部,第一支架上设置指向第一刻度尺的第一指针;第二观察窗上设置第二刻度尺,第二观察窗上设置第二支架,第二支架上安装第二目镜,第二目镜以滑动方式设置在第二支架上并能够通过第二观察窗观察单晶炉内部,第二支架上设置指向第二刻度尺的第二指针,第一刻度尺的零刻度线和第二刻度尺的零刻度线相互靠近设置,第一刻度尺的零刻度线和第二刻度尺的零刻度线之间的距离为L0。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司,其通讯地址为:750000 宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路23号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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