北京晨晶电子有限公司吴黎明获国家专利权
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龙图腾网获悉北京晨晶电子有限公司申请的专利石英振梁加速度计敏感结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115684646B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211314093.6,技术领域涉及:G01P15/02;该发明授权石英振梁加速度计敏感结构是由吴黎明;廖兴才;韩雪飞;汤一;张琳琳;裴志强;张梦婷;舒俊峰设计研发完成,并于2022-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本石英振梁加速度计敏感结构在说明书摘要公布了:本发明涉及加速度计技术领域,提供一种石英振梁加速度计敏感结构,包括:石英挠性梁,一端设置于刚性梁上;石英质量摆,设置于所述石英挠性梁的另一端;石英音叉振梁结构,一端与所述刚性梁连接,另一端与所述石英质量摆连接。本发明提供的石英振梁加速度计敏感结构,通过设置石英挠性梁、石英质量摆和石英音叉振梁结构,均采用石英晶体材料,能够提高材料热膨胀系数的匹配性,解决了因材料热膨胀系数不匹配导致的温度漂移问题。
本发明授权石英振梁加速度计敏感结构在权利要求书中公布了:1.一种石英振梁加速度计敏感结构,其特征在于,包括: 石英挠性梁,一端设置于刚性梁上; 石英质量摆,设置于所述石英挠性梁的另一端; 石英音叉振梁结构,位于所述石英挠性梁的至少一侧,所述石英音叉振梁结构的一端与所述刚性梁连接,另一端与所述石英质量摆连接;所述石英音叉振梁结构包括上音叉振梁结构和下音叉振梁结构,所述上音叉振梁结构和下音叉振梁结构分别位于所述石英挠性梁的两侧;且所述上音叉振梁结构和所述下音叉振梁结构采用不同的结构参数;所述上音叉振梁结构和下音叉振梁结构均包括: 两个锚区,其中一者与所述刚性梁连接,另一者与所述石英质量摆连接; 音叉振梁,设置为平行分布的两个单振梁,位于两个所述锚区之间;且两个所述单振梁的两端通过音叉结点实现两个单振梁的耦合连接; 音叉应力隔离梁,设置于所述音叉结点远离所述音叉振梁的一端,实现应力隔离效果; 四根折叠梁,与所述音叉振梁形成菱形组合梁结构,折叠梁的一端通过折叠梁结点与所述音叉应力隔离梁连接,另一端与对应所述锚区连接。
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