佑光智能半导体科技(深圳)有限公司李德荣获国家专利权
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龙图腾网获悉佑光智能半导体科技(深圳)有限公司申请的专利高速Mini-LED固晶机及固晶方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115621169B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211353312.1,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权高速Mini-LED固晶机及固晶方法是由李德荣;李金龙;王旭设计研发完成,并于2022-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本高速Mini-LED固晶机及固晶方法在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体封装设备技术领域,公开了一种高速Mini‑LED固晶机及固晶方法,高速Mini‑LED固晶机包括机架、晶环模组、可拆卸的设置在机架上的镜头模组、顶针模组和固晶模组,机架上开设有第一工位和第二工位,模组可放在第一工位或第二工位上,固晶模组包括摆臂,摆臂包括第一摆臂和第二摆臂,不同材料对应不同摆臂和不同工位,从而提升固晶机的适配度。固晶方法为:晶片放置在晶环模组上,顶针模组将晶片顶起,摆臂转移晶片进行固晶;加工第一材料,镜头模组、顶针模组和固晶模组均位于第一工位,摆臂为第一摆臂,加工第二材料时,镜头模组、顶针模组和固晶模组均位于第二工位,摆臂更换为第二摆臂。本申请具有提升固晶机的适配度的效果。
本发明授权高速Mini-LED固晶机及固晶方法在权利要求书中公布了:1.一种高速Mini-LED固晶机,其特征在于,包括: 机架10,开设有第一工位11和第二工位12;所述机架10上在两组固晶模组40之间设置有轨道模组60,所述轨道模组60的X轴电机623上设置有安装台63,所述安装台63上设置有用于晶片固晶的固晶台64,所述机架10上设置有镜筒模组70,所述镜筒模组70与所述轨道模组60的固晶台64相对应设置; 晶环模组50,设置在所述机架10上,用于放置晶片;所述晶环模组50包括X轴移动组件52、Y轴移动组件51和放置有晶片的晶圆台53,通过X轴移动组件52和Y轴移动组件51改变晶片在X轴和Y轴上的位置; 镜头模组20,可拆卸的设置在所述机架10上,用于拍照定位晶片信息,并传递晶片的信息位置偏差; 顶针模组30,可拆卸的设置在所述机架10上,用于顶起晶片; 固晶模组40,可拆卸的设置在所述机架10上,包括驱动装置41和摆臂42,所述驱动装置41与所述摆臂42相连接,所述驱动装置41用于驱动所述摆臂42在供晶位和固晶位之间往复运动,所述摆臂42用于吸取晶片;第二工位12比之第一工位11适用于型号较大的材料,所述镜头模组20、顶针模组30和固晶模组40能在第一工位11和第二工位12之间更换; 当所述镜头模组20、所述顶针模组30和所述固晶模组40均位于所述第一工位11时,所述摆臂42采用第一摆臂对第一材料固晶;当所述镜头模组20、所述顶针模组30和所述固晶模组40均位于所述第二工位12时,所述摆臂42采用第二摆臂对第二材料固晶,所述第二摆臂为比之第一摆臂较长的摆臂; 其中,所述镜筒模组70对晶片拍照并传递晶片的位置偏差信息,通过X轴电机623和Y轴电机613驱动所述安装台63和所述轨道模组60的固晶台64运动,用以调整校正晶片在固晶台64上的位置,以便于后续固晶操作。
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