长江存储科技有限责任公司沈保家获国家专利权
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龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利存储器及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114220817B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111385212.2,技术领域涉及:H10B43/30;该发明授权存储器及其制作方法是由沈保家;王启光设计研发完成,并于2021-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本存储器及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种存储器及其制作方法。其中,所述存储器包括:堆叠结构;贯穿所述堆叠结构的存储沟道孔;位于所述存储沟道孔侧壁的电荷捕获层;其中,所述电荷捕获层包括沿所述存储沟道孔径向依次层叠设置的第一部分和第二部分;所述第二部分中第一元素的含量大于所述第一部分中第一元素的含量。
本发明授权存储器及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种存储器,其特征在于,包括: 堆叠结构; 贯穿所述堆叠结构的存储沟道孔; 位于所述存储沟道孔侧壁的电荷捕获层; 其中,所述电荷捕获层包括沿所述存储沟道孔径向依次层叠设置的第一部分和第二部分;所述第二部分中第一元素的含量大于所述第一部分中第一元素的含量;所述电荷捕获层的材料包括含氢的氮化硅;所述第一元素包括氢元素。
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