东京毅力科创株式会社饭野正获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114078723B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110912044.1，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置是由饭野正设计研发完成，并于2021-08-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够在早期检测处理液的飞散的基板处理装置。基板处理装置具有：基板保持旋转部，其保持基板并使该基板旋转；空气供给部，其向保持于所述基板保持旋转部的所述基板供给空气；处理液供给部，其向保持于所述基板保持旋转部的所述基板供给处理液；以及，其配置于所述空气供给部与所述基板保持旋转部之间，所述整流构件对从所述空气供给部供给的所述空气进行整流，其中，所述整流构件具有：基材，其具备与保持于所述基板保持旋转部的所述基板相向的主面；第一导电层，其设置于所述主面；以及第二导电层，其设置于所述主面，所述第二导电层与所述第一导电层电绝缘。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，具有： 基板保持旋转部，其保持基板并使该基板旋转； 空气供给部，其向保持于所述基板保持旋转部的所述基板供给空气； 处理液供给部，其向保持于所述基板保持旋转部的所述基板供给处理液；以及 整流构件，其配置于所述空气供给部与所述基板保持旋转部之间，所述整流构件对从所述空气供给部供给的所述空气进行整流， 其中，所述整流构件具有： 基材，其具备与保持于所述基板保持旋转部的所述基板相向的主面； 第一导电层，其设置于所述主面；以及 第二导电层，其设置于所述主面，所述第二导电层与所述第一导电层电绝缘。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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