芯恩(青岛)集成电路有限公司薛丽英获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利研磨碟清洗装置及化学机械研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223885613U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520468348.7，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型研磨碟清洗装置及化学机械研磨设备是由薛丽英;许力介;黄坤;赵振伟设计研发完成，并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨碟清洗装置及化学机械研磨设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种研磨碟清洗装置及化学机械研磨设备，研磨碟清洗装置包括旋转盘和清洗头，清洗头包括海绵刷头和出水管，出水管的出水端位于海绵刷头的内部，海绵刷头固定于旋转盘上，海绵刷头和出水管的数量均为多个，相邻海绵刷头间隔设置，出水管的出水端低于海绵刷头的顶面。该研磨碟清洗装置的海绵刷头在研磨碟清洗过程中可以直接接触研磨碟表面，在旋转盘机械旋转的作用下擦除研磨碟表面的残留物及钻石，海绵刷头内置出水管，能够实现海绵刷头擦拭研磨碟的同时对研磨碟表面进行冲洗，增强对研磨碟的清洗效果，从而预防化学机械研磨设备研磨过程中研磨碟因掉钻而造成对晶圆的刮伤，提升研磨工艺的稳定性。
本实用新型研磨碟清洗装置及化学机械研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种研磨碟清洗装置，其特征在于： 包括旋转盘和清洗头； 所述清洗头包括海绵刷头和出水管，所述出水管的出水端位于所述海绵刷头的内部，所述海绵刷头固定于所述旋转盘的顶面，所述海绵刷头和所述出水管的数量均为多个，相邻所述海绵刷头间隔设置，所述出水管的出水端低于所述海绵刷头的顶面，所述出水管的出水方向与所述旋转盘垂直。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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