钰镍(上海)半导体科技有限公司鲁浪获国家专利权
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龙图腾网获悉钰镍(上海)半导体科技有限公司申请的专利一种半导体制造装备的清洁设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223885610U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520089025.7，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种半导体制造装备的清洁设备是由鲁浪;余建波设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体制造装备的清洁设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体制造装备的清洁设备，涉及清洁设备技术领域，包括外壳，外壳的两侧面均固定连通有取放通道，两个取放通道上均铰接有仓门，控制底座，固定连接于外壳内，控制底座上安装有超声波清洗器，超声波清洗器内设置有清洗液，存放皿，设置于控制底座的上方。本实用新型设计结构合理，它通过设置超声波清洗技术，能够深入半导体表面细微结构内部，极大提高了清洁的彻底性和均匀性，并通过存放皿的笼状设计与通孔，确保了超声波能量的有效传递，同时允许清洗液循环流动，进一步增强了清洁效果，不仅提升了半导体制造装备的清洁效率，还保证了更高的清洁质量，有助于提高最终产品的良品率。
本实用新型一种半导体制造装备的清洁设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体制造装备的清洁设备，其特征在于，包括： 外壳1，所述外壳1的两侧面均固定连通有取放通道2，两个所述取放通道2上均铰接有仓门3； 控制底座7，固定连接于外壳1内，所述控制底座7上安装有超声波清洗器8，所述超声波清洗器8内设置有清洗液； 存放皿22，设置于控制底座7的上方，所述控制底座7上设置有用于对存放皿22移动的移动组件和用于对存放皿22升降的调高组件； 烘干组件，设置于存放皿22上，与存放皿22进行同步运动，并对存放皿22内半导体进行吹热风烘干。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人钰镍(上海)半导体科技有限公司，其通讯地址为：200435 上海市宝山区罗宁路1288弄9号3层301室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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