泰科天润半导体科技(北京)有限公司何佳获国家专利权
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龙图腾网获悉泰科天润半导体科技(北京)有限公司申请的专利一种非对称沟槽栅碳化硅VDMOS获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223885549U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520455559.7,技术领域涉及:H10D30/66;该实用新型一种非对称沟槽栅碳化硅VDMOS是由何佳;陈彤;周海;胡臻设计研发完成,并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种非对称沟槽栅碳化硅VDMOS在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种非对称沟槽栅碳化硅VDMOS,包括:漂移层连接至碳化硅衬底;续流区下侧面连接至漂移层上侧面;续流区内设有P型阱区、N型源区、掩蔽层以及凹槽;N型源区下侧面连接至P型阱区上侧面;P型阱区以及N型源区位于凹槽一侧;掩蔽层位于凹槽下方以及另一侧;绝缘介质层下部设于凹槽内,绝缘介质层下侧面连接至掩蔽层;绝缘介质层外侧面分别连接N型源区、P型阱区以及掩蔽层;绝缘介质层内设有沟槽;栅极金属层设于沟槽内;源极金属层分别连接续流区、N型源区以及掩蔽层;漏极金属层连接至碳化硅衬底,能有效降低器件的体二极管导通损耗、提高器件的反向恢复速度、提高器件的栅极可靠性和源极大电流冲击可靠性。
本实用新型一种非对称沟槽栅碳化硅VDMOS在权利要求书中公布了:1.一种非对称沟槽栅碳化硅VDMOS,其特征在于:包括: 碳化硅衬底; 漂移层,所述漂移层下侧面连接至所述碳化硅衬底上侧面; 续流区,所述续流区下侧面连接至所述漂移层上侧面;所述续流区内设有P型阱区、N型源区、掩蔽层以及凹槽;所述N型源区下侧面连接至所述P型阱区上侧面;所述P型阱区以及N型源区位于所述凹槽一侧;所述掩蔽层位于所述凹槽下方以及另一侧; 绝缘介质层,所述绝缘介质层下部设于所述凹槽内,所述绝缘介质层下侧面连接至所述掩蔽层;所述绝缘介质层外侧面分别连接所述N型源区、P型阱区以及掩蔽层;所述绝缘介质层内设有沟槽; 栅极金属层,所述栅极金属层设于所述沟槽内; 源极金属层,所述源极金属层分别连接所述续流区、N型源区以及掩蔽层; 以及,漏极金属层,所述漏极金属层连接至所述碳化硅衬底。
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