昆山索坤莱机电科技有限公司国际瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山索坤莱机电科技有限公司申请的专利升降开合式上部等离子处理气体均匀供应箱体结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223884396U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520488526.2，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型升降开合式上部等离子处理气体均匀供应箱体结构是由国际瑞;刘善石设计研发完成，并于2025-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本升降开合式上部等离子处理气体均匀供应箱体结构在说明书摘要公布了：本实用新型升降开合式上部等离子处理气体均匀供应箱体结构包括固定设置在机架上的下部固定箱体，对应下部固定箱体设置有升降开合式上部等离子处理气体均匀供应箱体；升降开合式上部等离子处理气体均匀供应箱体包括上部箱体主体，上部箱体主体上设置有等离子处理气体供应管，等离子处理气体供应管上设置有等离子处理气体过滤器，上部箱体主体的上真空处理对应腔设置有连通等离子处理气体供应管的等离子处理气体接入管，等离子处理气体接入管上均匀开设有等离子处理气体出口，形成等离子处理气体均匀输入式真空等离子处理结构。
本实用新型升降开合式上部等离子处理气体均匀供应箱体结构在权利要求书中公布了：1.一种升降开合式上部等离子处理气体均匀供应箱体结构，其特征在于：包括固定设置在机架上的下部固定箱体，对应下部固定箱体设置有升降开合式上部等离子处理气体均匀供应箱体； 升降开合式上部等离子处理气体均匀供应箱体包括上部箱体主体，上部箱体主体上设置有等离子处理气体供应管，等离子处理气体供应管上设置有等离子处理气体过滤器，上部箱体主体的上真空处理对应腔设置有连通等离子处理气体供应管的等离子处理气体接入管，等离子处理气体接入管上均匀开设有等离子处理气体出口，形成等离子处理气体均匀输入式真空等离子处理结构； 等离子处理气体供应管连通外部等离子处理气体供应装备，外部等离子处理气体供应装备用做泵式压力等离子处理气体供应件，进行对应等离子处理气体供应管的等离子处理气体传输，形成稳定压力式等离子处理气体保障结构。
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