北京北方华创微电子装备有限公司闫筱乐获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种进气系统及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223884395U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520309962.9，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种进气系统及半导体工艺设备是由闫筱乐设计研发完成，并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种进气系统及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种进气系统及半导体工艺设备，进气系统用于给半导体工艺设备的反应腔供气，所述进气系统包括：主进气模块，用于连接第一流量的气源；快速进气模块，内部设有相互连通的进气通道和出气通道，所述进气通道用于连接第二流量的气源，所述出气通道用于连接所述反应腔，其中，所述第二流量小于所述第一流量；第一连接管路，一端与所述主进气模块连通，另一端与所述出气通道连通，所述第一连接管路上设有第一阀门；第二连接管路，一端与所述主进气模块连通，另一端与所述进气通道连通，所述第二连接管路上设有第二阀门。本申请可以提高快速进气模块的流量计的校准精度，以及提高主进气模块和快速进气模块的流量计的校准结果的一致性。
本实用新型一种进气系统及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种进气系统，用于给半导体工艺设备的反应腔供气，其特征在于，所述进气系统包括： 主进气模块，用于连接第一流量的气源； 快速进气模块，内部设有相互连通的进气通道和出气通道，所述进气通道用于连接第二流量的气源，所述出气通道用于连接所述反应腔，其中，所述第二流量小于所述第一流量； 第一连接管路，一端与所述主进气模块连通，另一端与所述出气通道连通，所述第一连接管路上设有第一阀门； 第二连接管路，一端与所述主进气模块连通，另一端与所述进气通道连通，所述第二连接管路上设有第二阀门。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励