台湾积体电路制造股份有限公司郑建铭获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利扫描式电子显微镜、扫描式电子显微镜系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223884394U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520006084.3，技术领域涉及：H01J37/28；该实用新型扫描式电子显微镜、扫描式电子显微镜系统是由郑建铭;洪孟汉;黄博建;林重宏;温志伟设计研发完成，并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本扫描式电子显微镜、扫描式电子显微镜系统在说明书摘要公布了：本实用新型的实施例包括扫描电子显微镜SEM，其具有被配置为生成电子束的电子枪，该电子束沿着穿过SEM的镜筒的轴线被引导向样品台。在一些实施例中，SEM包括沿轴安装的第一反向散射电子BSE侦测器。在一些例子中，SEM还包括偏离轴线安装的第二BSE检测器，其中第二BSE检测器环绕柱的底部部分。在一些范例中，第二BSE侦测器包括在侧视图中具有平坦形状或弧形形状的多个叶片。另外，在一些实施例中，多个叶片在上视图中布置成圆形构造。
本实用新型扫描式电子显微镜、扫描式电子显微镜系统在权利要求书中公布了：1.一种扫描式电子显微镜，其特征在于，包括： 电子枪，配置为产生电子束，该电子束沿着穿过所述扫描式电子显微镜的柱的轴指向样品平台； 沿着所述轴安装的第一反向散射电子探测器； 第二反向散射电子探测器安装在所述轴之外，其中所述第二反向散射电子探测器环绕所述柱的底部。
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