上海椹诺电子科技有限公司徐加军获国家专利权
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龙图腾网获悉上海椹诺电子科技有限公司申请的专利基于RFID的光刻掩膜版追溯系统的读写装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223884015U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520269540.3,技术领域涉及:G06K7/10;该实用新型基于RFID的光刻掩膜版追溯系统的读写装置是由徐加军;蒋岳生设计研发完成,并于2025-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于RFID的光刻掩膜版追溯系统的读写装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体制造技术,公开了基于RFID的光刻掩膜版追溯系统的读写装置,其光刻掩膜版读写装置本体1包括光刻掩膜版读写装置盒体11和光刻掩膜版读写装置上盖12;光刻掩膜版读写装置盒体11和光刻掩膜版读写装置上盖12形成一密闭的光刻掩膜版读写装置腔体;光刻掩膜版读写装置上盖12上连接有用于放置掩膜版的掩膜版单元13、用于读取掩膜版的条形码的条形码读取单元14和用于接收RFID信号的天线棒15;本实用新型设计光刻掩膜版追溯系统的读写装置通过RFID+条形码的双重数据绑定,结合物理状态监测,实现了从入库、使用到维护的全生命周期数字化追溯,可靠性显著提升。
本实用新型基于RFID的光刻掩膜版追溯系统的读写装置在权利要求书中公布了:1.基于RFID的光刻掩膜版追溯系统的读写装置,包括光刻掩膜版读写装置本体1;其特征在于,光刻掩膜版读写装置本体1包括光刻掩膜版读写装置盒体11和光刻掩膜版读写装置上盖12;光刻掩膜版读写装置盒体11和光刻掩膜版读写装置上盖12形成一密闭的光刻掩膜版读写装置腔体;光刻掩膜版读写装置上盖12上连接有用于放置掩膜版的掩膜版单元13、用于读取掩膜版的条形码的条形码读取单元14和用于接收RFID信号的天线棒15。
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