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台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司王飞虎获国家专利权

龙图腾网获悉台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利微影工具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223883913U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520552842.1，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型微影工具是由王飞虎;刘杰;王蕾设计研发完成，并于2025-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本微影工具在说明书摘要公布了：一种微影工具包括工作台。光学元件位于工作台上方。轴与光学元件连接，其中轴能够旋转。旋转辅助工具固定在工作台上，其中旋转辅助工具包含轮，与轴的一部分的底表面接触。

本实用新型微影工具在权利要求书中公布了：1.一种微影工具，其特征在于，包含：一工作台；一光学元件，位于该工作台上方；一轴，与该光学元件连接，其中该轴能够旋转；及一旋转辅助工具，固定在该工作台上，其中该旋转辅助工具包含一轮，与该轴的一部分的一底表面接触。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司，其通讯地址为：201620 上海市松江区文翔路4000号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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