上海新毅东半导体科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新毅东半导体科技有限公司申请的专利狭缝装置和光刻系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223883912U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520509380.5，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型狭缝装置和光刻系统是由张琪;符友银;葛申设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本狭缝装置和光刻系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光刻技术领域，公开了一种狭缝装置和光刻系统，该狭缝装置包括基座和刀片组件。刀片组件包括垂直连接的第一刀片和第二刀片。刀片组件设置有两组，每组刀片组件沿第一方向和第二方向可移动地连接于基座；两个第一刀片和两个第二刀片围设形成大小可调的矩形狭缝窗口，第一方向和第二方向呈夹角设置。本实用新型通过在基座上设置两组刀片组件，每组刀片组件均包括垂直连接的第一刀片和第二刀片，且第一刀片和第二刀片同时移动，能够始终保证相邻两个刀片的垂直度，有利于四个刀片之间的垂直度，使得两个第一刀片和两个第二刀片围设的矩形狭缝窗口，平行度、垂直度误差更小，提高了矩形狭缝窗口的精确度。
本实用新型狭缝装置和光刻系统在权利要求书中公布了：1.狭缝装置，其特征在于，包括: 基座1； 刀片组件2，所述刀片组件2包括垂直连接的第一刀片21和第二刀片22； 所述刀片组件2设置有两组，每组所述刀片组件2沿第一方向和第二方向可移动地连接于所述基座1；两组所述刀片组件2的所述第一刀片21和所述第二刀片22围设形成大小可调的矩形狭缝窗口； 其中，所述第一方向和所述第二方向呈夹角设置。
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