上海新毅东半导体科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新毅东半导体科技有限公司申请的专利一种掩膜版夹取装置及光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223883911U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520509378.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种掩膜版夹取装置及光刻机是由张琪;符友银;芦志明设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜版夹取装置及光刻机在说明书摘要公布了：本实用新型涉及微电子技术领域，尤其涉及一种掩膜版夹取装置及光刻机。本实用新型提出的一种掩膜版夹取装置，通过设置驱动机构，其驱动件与主动轮传动连接，从动轮转动安装于安装座，主动轮和从动轮之间连接有传动件，并通过将两个夹持组件分别与传动件的正行侧和反行侧连接，从而当主动轮转动时能够使两个夹持组件相互靠近或远离以夹取工件，结构较为简单，而且两个夹持组件运行速度一致，夹取的精度较高，此外主动轮通过正转和反转即可实现工件的夹取与释放，简化了夹取操作，进而提升了夹取效率。本实用新型提出的一种光刻机，驱动机构结构简单，且掩膜版夹取装置夹取的精度较高，简化了夹取操作，进而提升了夹取效率。
本实用新型一种掩膜版夹取装置及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种掩膜版夹取装置，包括安装座1，所述安装座1上相对设置有两个夹持组件2，两个所述夹持组件2滑动设置于所述安装座1且能够配合夹取工件，其特征在于，所述安装座1上还安装有驱动机构3，所述驱动机构3包括驱动件31、主动轮32、传动件34和从动轮33，所述驱动件31与所述主动轮32传动连接，所述从动轮33转动安装于所述安装座1，所述主动轮32和所述从动轮33之间连接有所述传动件34，所述主动轮32和所述从动轮33的转动轴线方向一致，且与所述夹持组件2的滑动方向垂直，所述传动件34的正行侧和一所述夹持组件2连接，所述传动件34的反行侧和另一所述夹持组件2连接，所述主动轮32转动能够使两个所述夹持组件2相互靠近或远离以夹取工件。
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