源卓微纳科技(苏州)股份有限公司马运军获国家专利权
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龙图腾网获悉源卓微纳科技(苏州)股份有限公司申请的专利一种光伏投影光刻设备镜头微环境系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223883910U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520308531.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光伏投影光刻设备镜头微环境系统是由马运军;蔡瑞;戴德政;胡传武;张雷设计研发完成，并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光伏投影光刻设备镜头微环境系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光伏投影光刻设备镜头微环境系统，底座，其上设有电池片载台和支撑台，所述支撑台上依次设置光源整形组件、掩膜版组件及投影镜头，还包括：镜头密封罩，设置于所述底座上，覆盖所述支撑台、光源整形组件、掩膜版组件、投影镜头，其内部设有密封组件，所述密封组件包括掩膜版密封罩及导气分管，用于对掩膜版组件进行独立风道循环；高效除尘与独立风道：EFU组件结合双通道气流分配，实现镜头密封罩内持续置换微环境空气及掩膜版组件部分的独立循环冷却，减少热胀冷缩对曝光精度的影响；防污染设计：保护玻璃与离子风棒协同作用，防止油墨挥发物附着及静电吸附灰尘，降低镜头清洁频率。
本实用新型一种光伏投影光刻设备镜头微环境系统在权利要求书中公布了：1.一种光伏投影光刻设备镜头微环境系统，包括：底座，其上设有电池片载台和支撑台，所述支撑台上依次设置光源整形组件、掩膜版组件及投影镜头，其特征在于，还包括： 镜头密封罩，设置于所述底座上，覆盖所述支撑台、光源整形组件、掩膜版组件、投影镜头，其内部设有密封组件，所述密封组件包括掩膜版密封罩及导气分管，用于对掩膜版组件进行独立风道循环； 空气净化装置，包括空调、导气总管及EFU组件，所述导气总管连通所述空调与EFU组件，所述EFU组件与镜头密封罩的进风口连接； 静电除尘装置，包括设置于投影镜头底部的保护玻璃及离子风棒，所述离子风棒朝向保护玻璃表面吹风以去除静电及灰尘。
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