国电投核力创芯(无锡)科技有限公司桂正亚获国家专利权
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龙图腾网获悉国电投核力创芯(无锡)科技有限公司申请的专利一种用于晶圆质子辐照产线的新型束流测试装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223883775U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423212214.3,技术领域涉及:G01T1/29;该实用新型一种用于晶圆质子辐照产线的新型束流测试装置是由桂正亚;蒋禾嘉;王孝宇;包国柱;王孟涛设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆质子辐照产线的新型束流测试装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种用于晶圆质子辐照产线的新型束流测试装置,涉及晶圆辐照及电气、控制技术领域,包括PLC的DO模块、射频线缆、LC无源滤波器、电流表,使用所述PLC的DO模块对继电器的信号进行逻辑通断处理,信号经过所述LC无源滤波器滤除杂波,通过所述射频线缆传输至所述电流表,所述电流表读数通过网关将RS232通讯数据转换为ModebusTCP通讯并与所述PLC通讯,并将束流显示在HMI界面上。本实用新型采用成熟电流表,提高了束流测试的稳定性,设备产品使用成熟部件替代定制部件,安装方便且效率高。降低了制作及维护成本;五条产线能节约维修成本数超过10万元。降低检修、维护技术门槛,使用方可自行完成维护和变更。
本实用新型一种用于晶圆质子辐照产线的新型束流测试装置在权利要求书中公布了:1.一种用于晶圆质子辐照产线的新型束流测试装置,包括PLC的DO模块、射频线缆、LC无源滤波器、电流表,其特征在于:使用所述PLC的DO模块对继电器进行通断处理,电流信号经过所述射频线缆传输至继电器,通过继电器后经过所述LC无源滤波器滤除杂波,再传输所述电流表,所述电流表读数通过网关将RS232通讯数据转换为ModebusTCP通讯并与所述PLC的CPU进行通讯,并将束流显示在HMI界面上。
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