苏州纳维科技有限公司王风顺获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州纳维科技有限公司申请的专利一种垂直式镓舟及氢化物气相外延设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223879893U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520490345.3，技术领域涉及：C30B25/12；该实用新型一种垂直式镓舟及氢化物气相外延设备是由王风顺;周靖焱;王秉杨设计研发完成，并于2025-03-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种垂直式镓舟及氢化物气相外延设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种垂直式镓舟及氢化物气相外延设备，该垂直式镓舟包括：第一腔室以及至少一个第二腔室，第一腔室设置有入口，第二腔室设置于第一腔室的上方，且与第一腔室连通；至少一个第二腔室的容积小于第一腔室的容积，其中一个第二腔室设置有出口；从入口进入第一腔室的部分镓源由第一腔室进入至少一个第二腔室；镓源与气体源反应生成的含镓生长源通过出口排出。本方案中镓源能够在垂直方向上分布于第一腔室及第二腔室中，且从第一腔室中通入的气体源依次与不同腔室中的镓源反应，延长了气体源与镓源之间的接触面积和反应时间，提升反应转化率，且可提升反应过程的可控程度进而确保含镓生长源的质量稳定，可应用于氮化镓产品的生长领域。
本实用新型一种垂直式镓舟及氢化物气相外延设备在权利要求书中公布了：1.一种垂直式镓舟，其特征在于：包括： 第一腔室100，设置有入口，所述入口用于通入镓源与气体源； 至少一个第二腔室200，所述至少一个第二腔室200设置于所述第一腔室100的上方，且与所述第一腔室100连通；其中，至少一个所述第二腔室200的容积小于所述第一腔室100的容积，其中一个所述第二腔室200设置有出口； 其中，从所述入口进入所述第一腔室100的部分镓源由所述第一腔室100进入所述至少一个第二腔室200；所述第一腔室100、所述第二腔室200中的镓源与气体源反应生成的含镓生长源通过所述出口排出。
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