天合光能股份有限公司钱仕友获国家专利权
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龙图腾网获悉天合光能股份有限公司申请的专利一种电极杆组件、电极反应装置及PECVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223879834U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520380991.4，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型一种电极杆组件、电极反应装置及PECVD设备是由钱仕友设计研发完成，并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电极杆组件、电极反应装置及PECVD设备在说明书摘要公布了：本实用新型揭示了一种电极杆组件、电极反应装置及PECVD设备，包括滑轨、基座、推动件、弹性件、电极杆本体以及驱动件；所述基座滑动安装在所述滑轨上；所述推动件设置在所述滑轨的一侧壁上；所述弹性件的两端分别与所述推动件的端部以及所述基座连接，当所述推动件相对所述滑轨移动且自锁时，在所述弹性件的连接作用下，同步带动所述基座移动；所述电极杆本体通过连接件与所述基座固定连接；所述驱动件与所述滑轨连接，用于推动所述滑轨沿其长度方向移动。本实用新型通过上述设置，有效避免电极杆组件与石墨舟硬性接触的情况发生，提高镀膜时的稳定性，且便于对电极杆组件进行更换，以能够针对不同尺寸的硅片进行快速调整。
本实用新型一种电极杆组件、电极反应装置及PECVD设备在权利要求书中公布了：1.一种电极杆组件，其特征在于，包括滑轨、基座、推动件、弹性件、电极杆本体以及驱动件； 所述基座滑动安装在所述滑轨上； 所述推动件设置在所述滑轨的一侧壁上； 所述弹性件的两端分别与所述推动件的端部以及所述基座的侧壁连接，当所述推动件相对所述滑轨移动且自锁时，在所述弹性件的连接作用下，同步带动所述基座移动； 所述电极杆本体通过连接件与所述基座固定连接； 所述驱动件与所述滑轨连接，用于推动所述滑轨沿其长度方向移动。
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