大连连城数控机器股份有限公司李阳获国家专利权
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龙图腾网获悉大连连城数控机器股份有限公司申请的专利分段式加热装置和ALD工艺炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223879830U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520136214.5,技术领域涉及:C23C16/44;该实用新型分段式加热装置和ALD工艺炉是由李阳;孔奕人;杨永远;李健;段世飞设计研发完成,并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本分段式加热装置和ALD工艺炉在说明书摘要公布了:本实用新型涉及加热装置的技术领域,尤其涉及一种分段式加热装置和ALD工艺炉,包括方形壳体、分隔板、主加热组件和主保温层;方形壳体包括两个相对的第一外壁和两个相对的第二外壁,分隔板、主加热组件和主保温层至少设置为位于一个第一外壁外的一组;主加热组件一一对应可拆卸连接于加热段,且主加热组件能够沿方形壳体的宽度方向装入或者抽离加热段,其有益效果是分段加热的方案为加热装置的灵活调控提供了硬件基础,确保了该加热装置的使用灵活性。由于主加热组件是设置在方形壳体外部的,且能够沿方形壳体的宽度方向装入或抽离加热段,如此便提高了主加热组件的维护便利性。
本实用新型分段式加热装置和ALD工艺炉在权利要求书中公布了:1.一种分段式加热装置,其特征在于:包括方形壳体1、分隔板2、主加热组件3和主保温层4; 所述方形壳体1包括两个相对的第一外壁11和两个相对的第二外壁12,所述分隔板2、所述主加热组件3和所述主保温层4至少设置为位于一个所述第一外壁11外的一组; 所述主保温层4可拆卸连接于所述第一外壁11上,所述分隔板2固定连接于所述方形壳体1的外壁且位于所述主保温层4和所述方形壳体1之间,以将所述主保温层4和所述方形壳体1之间的空间分隔出多个加热段200; 所述主加热组件3一一对应可拆卸连接于所述加热段200,且所述主加热组件3能够沿所述方形壳体1的宽度方向装入或者抽离所述加热段200。
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