山东有研艾斯半导体材料有限公司于兴瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉山东有研艾斯半导体材料有限公司申请的专利一种CVD用TRAY的清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223879829U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520080869.5，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种CVD用TRAY的清洗装置是由于兴瑞;陈信;邵秋生;张荣彬;潘世林设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种CVD用TRAY的清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种CVD用TRAY的清洗装置，该装置具备：整机支架，用于整机各个模块的连接；上料模块，作为TRAY清洗过程的上料装置；化学液模块，通过整机支架与上料模块连接；纯水模块，通过整机支架与化学液模块连接；干燥模块，通过整机支架与纯水模块连接；下料模块，作为TRAY清洗过程的下料装置，通过整机支架与干燥模块连接；传送装置，设置于上料模块、化学液清洗模块、纯水清洗模块、干燥模块、下料模块的前部，用于TRAY清洗过程中的TRAY清洗支架在各模块间的传送；TRAY清洗支架，用于放置所清洗的若干个TRAY。本实用新型可实现CVD用TRAY的自动化浸泡、清洗、干燥等，较传统的手动清洗方式提高了工作效率及清洗过程的稳定性，提高了操作过程的安全性。
本实用新型一种CVD用TRAY的清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种CVD用TRAY的清洗装置，其特征在于，该装置具备： 整机支架，用于整机各个模块的连接，固定相邻两个模块形成一个整体； 上料模块，作为TRAY清洗过程的上料装置； 化学液模块，通过整机支架与上料模块连接； 纯水模块，通过整机支架与化学液模块连接； 干燥模块，通过整机支架与纯水模块连接； 下料模块，作为TRAY清洗过程的下料装置，通过整机支架与干燥模块连接； 传送装置，设置于上料模块、化学液清洗模块、纯水清洗模块、干燥模块、下料模块的前部，用于TRAY清洗过程中的TRAY清洗支架在各模块间的传送； TRAY清洗支架，用于放置所清洗的若干个TRAY。
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