宁波江丰电子材料股份有限公司边逸军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种靶材和靶托的连接结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223879822U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520041000.X，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种靶材和靶托的连接结构是由边逸军;姚力军;苏阳能设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材和靶托的连接结构在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种靶材和靶托的连接结构，所述连接结构包括同轴设置的靶材本体和靶材托体；靶材本体的一侧上设置有凹槽，靶材托体的一侧上设置有凸块，凸块嵌入设置在凹槽内，靶材托体的表面积大于靶材本体的表面积，靶材托体沿靶材本体的边缘周向设置有环槽；环槽在靠近靶材本体的一侧，向靶材托体的轴线方向延伸设置。本实用新型通过在靶材托体上沿靶材本体的周向设计环槽，并将环槽的宽度进行延伸，可以减少钛靶材在高阶制程使用过程中发生异常颗粒掉落的问题，主要是为增加反溅射物的堆积空间从而减慢厚度的增长，使得反溅射物厚度堆积速率可控，结构简单，适合工业化推广。
本实用新型一种靶材和靶托的连接结构在权利要求书中公布了：1.一种靶材和靶托的连接结构，其特征在于，所述连接结构包括同轴设置的靶材本体和靶材托体； 所述靶材本体的一侧上设置有凹槽，所述靶材托体的一侧上设置有凸块，所述凸块嵌入设置在所述凹槽内； 所述靶材托体的表面积大于所述靶材本体的表面积，所述靶材托体沿所述靶材本体的边缘周向设置有环槽； 所述环槽在靠近所述靶材本体的一侧，向所述靶材托体的轴线方向延伸设置。
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