苏州佑伦真空设备科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种溅射镀膜机的真空加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223879821U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422916163.6，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种溅射镀膜机的真空加热装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射镀膜机的真空加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种溅射镀膜机的真空加热装置，包括工艺腔体，工艺腔体底部设有底板，真空加热装置包括加热灯管组件、真空电极组件，真空电极组件包括导电柱、电极、电极安装座，电极安装座连接于底板下方，电极设于电极安装座内部，电极安装座的底部设有安装孔，导电柱穿过安装孔且与电极套接，加热灯管组件置于工艺腔体内，加热灯管组件的两端分别连接一个导电柱，一端的导电柱套接正极电极，另一端的导电柱套接负极电极，通过导线给加热灯管组件通电，对工艺腔体进行烘烤加热使其保持在工艺所需的温度，工艺腔体外侧设有温度传感器组件，用于检测腔体内温度，并控制真空加热装置的启停避免腔体内温度过高。
本实用新型一种溅射镀膜机的真空加热装置在权利要求书中公布了：1.一种溅射镀膜机的真空加热装置，包括工艺腔体10，所述工艺腔体10为中空腔室，所述工艺腔体10底部设有底板11，其特征在于：真空加热装置20穿过所述底板11与工艺腔体10连接，所述真空加热装置20包括加热灯管组件21、真空电极组件22，所述真空电极组件22包括导电柱221、电极222、电极安装座223，所述电极安装座223连接于底板11下方，电极222设于电极安装座223内部，所述电极安装座223的底部设有安装孔，所述导电柱221穿过安装孔且与电极222套接，所述加热灯管组件21置于工艺腔体10内，所述加热灯管组件21的两端分别连接一个导电柱221，一端的导电柱221套接正极电极222，另一端的导电柱221套接负极电极222，通过导线40给加热灯管组件21通电，对所述工艺腔体10进行烘烤加热，所述工艺腔体10外侧设有温度传感器组件30。
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