常州卓旻精密机械科技有限公司印志超获国家专利权
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龙图腾网获悉常州卓旻精密机械科技有限公司申请的专利真空镀膜腔获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223879816U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520385609.9,技术领域涉及:C23C14/22;该实用新型真空镀膜腔是由印志超;上官小兴;上官建兴设计研发完成,并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空镀膜腔在说明书摘要公布了:本实用新型属于真空镀膜技术领域,具体涉及一种真空镀膜腔,包括:第一腔室;工艺腔室,其设置在第一腔室的前端并与第一腔室连通,工艺腔室的入口处设置有分隔板,分隔板周向侧壁设置有密封件,密封件适于密封分隔板的周向侧壁与工艺腔室的内壁,分隔板的顶部和底部分别设置有连接支板,连接支板与工艺腔室可拆卸连接;以及,分隔板上开设有贯穿口,工艺腔室内转动设置有阀板,阀板设置在分隔板靠近第一腔室的一侧;其中,当阀板转动至竖直状态时,阀板贴合分隔板以关闭贯穿口;在分隔板靠近第一腔室的一侧设置一可转动的阀板,来完成贯穿口的打开关闭,无需单独设置门阀组件,即可完成腔室的打开关闭。
本实用新型真空镀膜腔在权利要求书中公布了:1.一种真空镀膜腔,其特征在于,包括: 第一腔室1; 工艺腔室2,其设置在所述第一腔室1的前端并与第一腔室1连通,所述工艺腔室2的入口处设置有分隔板21,所述分隔板21周向侧壁设置有密封件21a,所述密封件21a适于密封分隔板21的周向侧壁与工艺腔室2的内壁,所述分隔板21的顶部和底部分别设置有连接支板21b,所述连接支板21b与工艺腔室2可拆卸连接;以及, 所述分隔板21上开设有贯穿口21c,所述工艺腔室2内转动设置有阀板22,所述阀板22设置在分隔板21靠近第一腔室1的一侧;其中, 当所述阀板22转动至竖直状态时,所述阀板22贴合分隔板21以关闭贯穿口21c。
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