华海清科股份有限公司王伟获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利化学机械抛光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223876778U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520163160.1，技术领域涉及：B24B37/00；该实用新型化学机械抛光设备是由王伟;孙新颖;吴大亮;于书瀚设计研发完成，并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种化学机械抛光设备，包括：支撑结构和限位组件，支撑结构设置在修整器所在的晶圆加工腔室的腔壁上，限位组件设置在修整器包括的支撑部与修整器包括的摆臂之间；限位组件，用于当摆臂以支撑部所在的位置为圆心旋转至极限位置时，与支撑结构接触，以对摆臂进行限位，其中，极限位置用于指示摆臂的远端与腔壁的距离小于距离阈值时，摆臂相对于初始位置旋转的角度。本申请通过设置支撑结构和限位组件，能够对转动至极限位置的摆臂进行限位，因此即使电机飞车转速突然失控等情况发生，摆臂也不会转动超过极限位置，进而避免摆臂撞击机台内部结构。
本实用新型化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光设备，其特征在于，包括：设置在晶圆加工腔室内的抛光头、抛光垫、供液装置、修整器和抛光盘； 所述抛光盘设置在晶圆加工腔室的中心，所述抛光垫设置在所述抛光盘上，所述供液装置和所述修整器转动设置在所述抛光盘外周，所述抛光头可移动设置在所述晶圆加工腔室内，用于将晶圆移动至与所述抛光垫抵接进行抛光以及将晶圆移出所述抛光垫； 所述化学机械抛光设备还包括：支撑结构和限位组件，所述支撑结构设置在修整器所在的晶圆加工腔室的腔壁上，所述限位组件设置在所述修整器包括的支撑部与所述修整器包括的摆臂之间； 所述限位组件，用于当所述摆臂以所述支撑部所在的位置为圆心旋转至极限位置时，与所述支撑结构接触，以对所述摆臂进行限位，其中，所述极限位置用于指示所述摆臂的远端与晶圆加工腔室的腔壁的距离小于距离阈值的位置。
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