南京理工大学紫金学院张丹获国家专利权
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龙图腾网获悉南京理工大学紫金学院申请的专利一种硅片制造用抛光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223876764U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520312798.7，技术领域涉及：B24B29/02；该实用新型一种硅片制造用抛光设备是由张丹;周广丽;陈姝君;魏恒杰设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片制造用抛光设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及硅片抛光技术领域，具体涉及一种硅片制造用抛光设备，包括支撑板、设于支撑板顶面中心的限位筒、位于限位筒内且可沿限位筒内壁纵向滑动的抵盘以及位于限位筒正上方且可纵向滑动并进入限位筒内的抛光盘，且抛光盘可旋转，限位筒周侧壁开设有多个侧导料槽，限位筒外周侧壁适配每个侧导料槽位置处均可拆卸安装有导料框，支撑板底面中心可拆卸安装有可对抛光碎屑进行导向并收集的收集组件，导料框与收集组件之间通过导料管可拆卸连接。本实用新型通过收集组件内的吹风组件，产生向斜筒内的风，进而使得在限位筒内的碎屑，通过侧导料槽进入导料框内，并经由导料管进入收集组件中，进而通过收集组件集中收集。
本实用新型一种硅片制造用抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种硅片制造用抛光设备，其特征在于：包括支撑板1、设于支撑板1顶面中心的限位筒2、位于限位筒2内且可沿限位筒2内壁纵向滑动的抵盘10以及位于限位筒2正上方且可纵向滑动并进入限位筒2内的抛光盘6，且所述抛光盘6可旋转，所述限位筒2周侧壁开设有多个侧导料槽11，所述限位筒2外周侧壁适配每个侧导料槽11位置处均可拆卸安装有导料框12，所述支撑板1底面中心可拆卸安装有可对抛光碎屑进行导向并收集的收集组件，所述导料框12与收集组件之间通过导料管18可拆卸连接。
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