昆山蕴鼎自动化科技有限公司倪裕林获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山蕴鼎自动化科技有限公司申请的专利一种晶圆抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223876762U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423323999.1，技术领域涉及：B24B29/02；该实用新型一种晶圆抛光装置是由倪裕林;徐新志;尹旺;尹康设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆抛光装置，本实用新型包括支撑框架，所述支撑框架内侧固定连接有第一电机，此步骤通过设置放置板、抛光垫、第二电机、往复螺杆和喷洒头，在抛光时，将晶圆放置在放置板上侧，通过液压缸带动抛光垫移动至贴紧晶圆，然后通过输液泵带动抛光液从喷洒头喷出至晶圆上，再通过第一电机带动放置板和晶圆转动，使得抛光液均匀喷洒晶圆一圈，然后启动第二电机，通过第二电机带动往复螺杆转动，通过往复螺杆带动喷洒头移动，从而使得喷洒头对晶圆未喷洒的表面进行喷洒，通过喷洒头的移动配合晶圆的转动，使得抛光液可以均匀喷洒在晶圆表面，并通过抛光垫与晶圆的贴合，从而对晶圆进行抛光，提高了装置抛光的均匀性。
本实用新型一种晶圆抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆抛光装置，包括支撑框架1，其特征在于：所述支撑框架1内侧固定连接有第一电机2，所述第一电机2输出端固定连接有放置板3，所述支撑框架1外侧固定连接有液压缸4，所述液压缸4输出端固定连接有输液泵5，所述输液泵5外侧固定连接有固定框架6，所述固定框架6外侧转动连接有抛光垫7，所述固定框架6内侧固定连接有第二电机8，所述第二电机8输出端固定连接有往复螺杆9，所述往复螺杆9外侧螺纹连接有喷洒头10，所述喷洒头10和固定框架6滑动连接，所述喷洒头10和输液泵5连通。
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