长沙贝和科技有限公司苏小磊获国家专利权
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龙图腾网获悉长沙贝和科技有限公司申请的专利一种晶圆抛光液残留清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223875617U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520323812.3,技术领域涉及:B08B1/12;该实用新型一种晶圆抛光液残留清洗装置是由苏小磊;罗冷;黄涌卓设计研发完成,并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆抛光液残留清洗装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆抛光液残留清洗装置,涉及硅片加工装置技术领域,该装置包括清洁刷,所述清洁刷转动连接在滑动组件中,所述滑动组件上方还配合设有一个转动连接块,所述清洁刷包括一个清洁刷盘,所述清洁刷盘上固定连接有一个转动轴体,所述转动轴体上固定连接有一个齿轮,所述清洁刷盘的底部均匀分布有多个刷毛;通过在清洁刷的转动轴体上固定连接一个齿轮,利用齿轮和齿条的啮合,可以在清洁刷前后移动的过程中,清洁刷自身也会旋转,进而提升清洁的效果,此外,通过设置转动连接块和转动驱动组件,利用第二伸缩杆的伸缩,来实现连接柱的转动,进而带动滑动组件旋转。
本实用新型一种晶圆抛光液残留清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆抛光液残留清洗装置,包括清洁刷100,所述清洁刷100转动连接在滑动组件200中,所述滑动组件200上方还配合设有一个转动连接块400,其特征在于,所述清洁刷100包括一个清洁刷盘101,所述清洁刷盘101上固定连接有一个转动轴体102,所述转动轴体102上固定连接有一个齿轮104,所述清洁刷盘101的底部均匀分布有多个刷毛103。
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